特許

J-GLOBAL ID：201703014149986137

基板処理装置

発明者： 篠崎 弘行
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (9件)： 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  大野 浩之 ,  森田 耕司 ,  津田 理 ,  松野 知紘 ,  酒谷 誠一 ,  佃 誠玄 ,  野本 裕史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-067067
公開番号（公開出願番号）：特開2017-177271
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】ロータリージョイントにおけるクエンチ水の主ライン(第1の流路)への漏れの発生可能性を抑制しつつ、ロータリージョイントのクエンチ水ライン(第2の流路)の流量を確保する。【解決手段】ヘッド部の回転とともに回転する回転部と、当該回転部の周囲に設けられた固定部と、回転部と前記固定部との間をシールするシール部とを有し、ガスが通る第1の流路が形成されており、シール部により前記第1の流路に対して隔離され且つクエンチ水が通る第2の流路が形成されているロータリージョイントと、クエンチ水が排出される排出配管であって、一端部がロータリージョイントの第2の流路の排出口と連通しており且つ他端部が第2の流路の排出口より低い位置で大気に開放されている排出配管と、を有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ヘッド部の回転とともに回転する回転部と、当該回転部の周囲に設けられた固定部と、前記回転部と前記固定部との間をシールするシール部とを有し、ガスが通る第1の流路が形成されており、前記シール部により前記第1の流路に対して隔離され且つクエンチ水が通る第2の流路が形成されているロータリージョイントと、 前記クエンチ水が排出される排出配管であって、一端部が前記ロータリージョイントの前記第2の流路の排出口と連通しており且つ他端部が前記第2の流路の排出口より低い位置で大気に開放されている排出配管と、 を備える基板処理装置。

IPC (2件)：

B24B 37/30 ,  F16L 27/08

FI (2件)：

B24B37/04 N ,  F16L27/08 Z

Fターム (14件)：

3C158AA07 ,  3C158AC01 ,  3C158CB06 ,  3C158DA17 ,  3C158EA13 ,  3C158EA23 ,  3C158EB10 ,  3H104JA04 ,  3H104JD09 ,  5F057AA52 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057FA13