特許

J-GLOBAL ID：201703014204428149

研削工具の砥面検査装置、検査方法およびプログラム

発明者： 川下 智幸 ,  坂口 彰浩 ,  松尾 修二
出願人/特許権者： 独立行政法人国立高等専門学校機構
代理人 (9件)： 蔵田 昌俊 ,  野河 信久 ,  峰 隆司 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  井上 正 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-235750
公開番号（公開出願番号）：特開2017-103358
出願日： 2015年12月02日
公開日（公表日）： 2017年06月08日
要約：

【課題】弾性を有する研削工具に対しても砥粒の状態を定量的に評価できる砥面検査装置を提供する。【解決手段】弾性を有する研削工具6の砥面に対し、ガラス等の透明材料からなる加圧板9を圧力を変化させながら押し付け、当該圧力ごとに研削工具6の砥面をマイクロスコープ3により撮像する。そして、この撮像により得られた圧力ごとの画像データに対し、それぞれフィルタリング処理等の画像処理を施して切れ刃候補となる砥粒の画像を抽出し、砥粒の分布や面積、砥粒の形状などのパラメータを求め、その解析結果を出力するようにしたものである。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

砥粒を散設した砥面が弾性を有する研削工具の前記砥面の状態を検査する砥面検査装置であって、 前記研削工具の砥面に対向配置される、透明材料からなる加圧部材と、 前記研削工具および前記加圧部材の少なくとも一方を支持し、前記研削工具の砥面に対し前記加圧部材を、その圧力値をステップ的に変化させながら押し付ける加圧装置と、 前記圧力値がステップ的に変化するごとに、前記加圧部材を透して前記研削工具の砥面を撮像し、その撮像画像データを出力する撮像装置と、 前記撮像装置から出力された撮像画像データを受け取り、当該撮像画像データに対し所定の画像処理を行って当該撮像画像データから前記砥粒を表す画像を抽出し、当該抽出された砥粒を表す画像をもとに前記砥粒の状態を解析する制御装置と を具備することを特徴とする砥面検査装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 ,  G06T 1/00 ,  G01N 21/84 ,  B24B 49/12

FI (4件)：

H01L21/304 631 ,  G06T1/00 300 ,  G01N21/84 Z ,  B24B49/12

Fターム (46件)：

2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA17 ,  3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB93 ,  3C034CA09 ,  3C034DD10 ,  5B057AA01 ,  5B057BA15 ,  5B057BA19 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CD05 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057CE16 ,  5B057CH09 ,  5B057CH16 ,  5B057CH20 ,  5B057DA01 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC04 ,  5B057DC09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC36 ,  5F057AA19 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057BB12 ,  5F057DA11 ,  5F057EB30 ,  5F057FA46 ,  5F057GB02 ,  5F057GB17