特許
J-GLOBAL ID:201703014210602380
紫外線受光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
森 哲也
, 田中 秀▲てつ▼
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-217931
公開番号(公開出願番号):特開2017-092154
出願日: 2015年11月05日
公開日(公表日): 2017年05月25日
要約:
【課題】受光感度の高い紫外線受光素子を提供する。【解決手段】基板1と、基板1上の、Al及びGaのうち少なくとも一つを含む第1の窒化物半導体層11と、第1の窒化物半導体層11上の、Al及びGaのうち少なくとも一つを含む第2の窒化物半導体層12と、第2の窒化物半導体層12上の、Al及びGaのうち少なくとも一つを含み、3次元島状構造であって、2nm以上50nm以下の膜厚を有する第3の窒化物半導体層13とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上の、Al及びGaのうち少なくとも一つを含む第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層上の、Al及びGaのうち少なくとも一つを含む第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層上の、Al及びGaのうち少なくとも一つを含み、3次元島状構造を有する第3の窒化物半導体層と、を備える紫外線受光素子。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
5F849AA14
, 5F849AB07
, 5F849BA01
, 5F849DA11
, 5F849DA44
, 5F849GA03
, 5F849LA03
, 5F849XB18
, 5F849XB24
, 5F849XB43
引用特許:
出願人引用 (4件)
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紫外線受光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-397110
出願人:大阪瓦斯株式会社
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半導体受光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-368210
出願人:三洋電機株式会社
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電界効果トランジスタ及びその評価方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-070246
出願人:パナソニック株式会社