特許
J-GLOBAL ID：201703014324581544
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鮫島 睦
, 吉田 環
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-258584
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106081
特許番号：特許第6070112号
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板から遊離して揺動可能に設けられる錘部と、
前記基板の平面方向に平行な検出方向の加速度に応じて固定電極と可動電極との前記検出方向における距離に応じた静電容量が変動する静電容量部と、を備え、
前記静電容量部は、前記基板の平面視における前記錘部の外周縁で囲まれた領域の中央部に、前記検出方向に沿って前記固定電極及び前記可動電極が交互に一列に並んで配置されており、
前記固定電極は、
隣り合う前記可動電極に挟まれた領域に互いに隣接して配置される第1固定電極と第2固定電極と、
前記第1固定電極の一端側に設けられ、前記第1固定電極を前記基板に接続する第1接続部と、
前記第1固定電極の一端側とは反対側の前記第2固定電極の一端側に設けられ、前記第2固定電極を前記基板に接続する第2接続部とを備え、
前記第1接続部は、前記第1固定電極と前記可動電極とが面一に対向するように、隣接する前記第2固定電極側に拡幅し、かつ拡幅方向において前記第2固定電極と対向することなく配置され、
前記第2接続部は、前記第2固定電極と前記可動電極とが面一に対向するように、隣接する前記第1固定電極側に拡幅し、かつ拡幅方向において前記第1固定電極と対向することなく配置されることを特徴とする加速度センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125 ( 200 6.01)
, G01P 15/08 ( 200 6.01)
, G01P 15/18 ( 201 3.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
G01P 15/125 Z
, G01P 15/08 101 C
, G01P 15/08 101 D
, G01P 15/18
, H01L 29/84 Z
, B81B 3/00
