有機EL素子およびスパッタ成膜方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-098889
公開番号（公開出願番号）：特開2016-219417
出願日： 2016年05月17日
公開日（公表日）： 2016年12月22日
要約：

【課題】良好な発光を示し、かつ可視光透過性を有する有機EL素子を提供する。【解決手段】有機EL素子10は、可視光透過性を有する陽極層である下部ITO層12と、有機機能層であるNPB層14およびAIQ層16と、可視光透過性を有する陰極層であるLiF層18およびMgAg層20と、陰極層の表面に成膜された上部ITO層22を備えている。上部ITO層22の面方向の膨張率は、厚さ0.1mmでヤング率2GPaの高分子フィルム上に成膜された状態で面方向の膨張率が0.02%以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可視光透過性を有する陽極層と、有機機能層と、可視光透過性を有する陰極層とを有する有機EL素子であって、厚さ0.1mmでヤング率2GPaの高分子フィルム上に成膜された状態で面方向の膨張率が0.02%以下である酸化インジウム錫層を、前記陰極層の表面にさらに有する有機EL素子。

IPC (6件)：

H05B 33/26 , H01L 51/50 , H05B 33/10 , H05B 33/28 , C23C 14/34 , C23C 14/08

FI (6件)：

H05B33/26 Z , H05B33/14 A , H05B33/10 , H05B33/28 , C23C14/34 R , C23C14/08 D

Fターム (26件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107BB02 , 3K107CC02 , 3K107CC45 , 3K107DD04 , 3K107DD22 , 3K107DD27 , 3K107DD29 , 3K107DD44Y , 3K107DD46Y , 3K107FF02 , 3K107FF14 , 3K107FF15 , 3K107FF16 , 3K107GG05 , 3K107GG28 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC32 , 4K029EA05

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