特許

J-GLOBAL ID：201703014420232771

大気圧プラズマ法によるコーティング作製方法

発明者： デ ブリース ヒンドリック ,  スタロスティン セルゲイ
出願人/特許権者： フジフィルム マニュファクチャリング ユーロプ ビー.ブイ.
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533979
特許番号：特許第6096783号
出願日： 2012年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 フレキシブル基板上にバリア層を製造する方法であって、 化学気相成長(CVD)法及び大気圧プラズマを利用して前記フレキシブル基板上に無機酸化物層を堆積させる第1のステップと、 前記無機酸化物層上に1〜70層の原子層(ALD)を連続的に堆積させることを含む第2のステップと、 を含み、 前記第2のステップで堆積されたALD層は、0.5〜5nmの厚さを有するAl2O3である、 方法。

IPC (5件)：

C23C 16/455 ( 200 6.01) ,  C23C 16/50 ( 200 6.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01) ,  C23C 16/42 ( 200 6.01) ,  B32B 9/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C23C 16/455 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/42 ,  B32B 9/00 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

• プラズマ処理装置、及び大気圧グロー放電電極構成を使用して基板を処理するための方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-547580   出願人：フジフィルムマニュファクチュアリングヨーロッパビー.ヴィ.
• 包装用積層品、包装用積層品製造方法、及びそれから製造された包装容器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-501374   出願人：テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム
• 電子構成素子を作製する方法および電子構成素子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-544580   出願人：オスラムオプトセミコンダクターズゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 大気圧グロー放電プラズマを使用した原子層堆積の方法及び装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-515325   出願人：フジフィルムマニュファクチャリングユーロプビー.ブイ.
• ガスバリア性積層体の製造方法およびガスバリア性積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-112945   出願人：凸版印刷株式会社

審査官引用 (4件)

• プラズマ処理装置、及び大気圧グロー放電電極構成を使用して基板を処理するための方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-547580   出願人：フジフィルムマニュファクチュアリングヨーロッパビー.ヴィ.
• 包装用積層品、包装用積層品製造方法、及びそれから製造された包装容器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-501374   出願人：テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム
• 電子構成素子を作製する方法および電子構成素子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-544580   出願人：オスラムオプトセミコンダクターズゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 大気圧グロー放電プラズマを使用した原子層堆積の方法及び装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-515325   出願人：フジフィルムマニュファクチャリングユーロプビー.ブイ.