特許
J-GLOBAL ID：201703014487845034
塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-252171
公開番号（公開出願番号）：特開2013-136559
特許番号：特許第6095954号
出願日： 2012年11月16日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 式(I)で表される塩。
[式(I)中、
Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。
L1は、式(bL1-1)〜式(bL1-3)、式(bL1-5)〜式(bL1-7)のいずれかで表される基である。
[式(bL1-1)〜式(bL1-3)、式(bL1-5)〜式(bL1-7)中、
Lb2は、単結合又は炭素数1〜15の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb3は、単結合又は炭素数1〜12の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb4は、炭素数1〜13の2価の飽和炭化水素基を表す。但しLb3及びLb4の合計炭素数の上限は13である。
Lb5は、炭素数1〜15の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb8は、2価の炭素数1〜14の飽和炭化水素基を表す。
Lb9は、単結合又は炭素数1〜11の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb10は、2価の炭素数1〜11の飽和炭化水素基を表す。但しLb9及びLb10の合計炭素数の上限は12である。
Lb11は、単結合又は2価の炭素数1〜13の飽和炭化水素基を表す。
Lb12は、2価の炭素数1〜14の飽和炭化水素基を表す。但しLb11及びLb12の合計炭素数の上限は14である。
式(bL1-1)〜式(bL1-3)、式(bL1-5)〜式(bL1-7)中の*はC(Q1)(Q2)との結合手を表す。]
L3-L2は、式(bL2-1)又は式(bL2-2)で表される基である。
[式(bL2-1)及び式(bL2-2)中、
Lb13及びLb14は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜14の2価の飽和炭化水素基を表す。但しLb13及びLb14の合計炭素数の上限は14である。
Lb15及びLb17は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1〜11の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb16は、炭素数1〜12の2価の飽和炭化水素基を表す。但しLb15、Lb16及びLb17の合計炭素数の上限は12である。
式(bL2-1)及び式(bL2-2)中の*は環W1との結合手を表す。]
環W1は、炭素数6〜18の芳香族環を表す。
環W2は、炭素数4〜18の脂肪族環を表し、前記脂肪族環を構成しているメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。但し、前記脂肪族環に含まれるメチレン基の少なくとも1つは、カルボニル基に置き換わっている。
R1は、ヒドロキシ基又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。
R2は、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基又は炭素数1〜6のアルコキシカルボニル基を表す。
sは、0〜2の整数を表す。sが2のとき、複数存在するR1は、互いに同一であっても異なっていてもよい。
tは、0〜2の整数を表す。tが2のとき、複数存在するR2は、互いに同一であっても異なっていてもよい。
Z+は、有機対イオンを表す。]
IPC (4件)：
C07C 309/24 ( 200 6.01)
, C07C 381/12 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
C07C 309/24 CSP
, C07C 381/12
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/039 601
