特許
J-GLOBAL ID：201703014505287982
スペクトルの等高線図のピーク位置と時間の関係を使用する終点方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-134324
公開番号（公開出願番号）：特開2016-213482
出願日： 2016年07月06日
公開日（公表日）： 2016年12月15日
要約：
【課題】化学機械研磨における1つの問題は、基板層が所望の平坦さもしくは厚さまで平坦化されたかどうか、または所望の量の材料がいつ除去されたかを判定することである。【解決手段】研磨方法は、基板を研磨するステップと、研磨中に監視すべき選択されたスペクトル特徴の識別情報および選択されたスペクトル特徴の特性を受け取るステップとを含む。この方法は、基板が研磨されている間に基板から反射された光の一連のスペクトルを測定するステップを含み、研磨中に材料が除去されるため、その一連のスペクトルの少なくとも一部は異なる。一連のスペクトル内のそれぞれのスペクトルに対する選択されたスペクトル特徴の特性の値を判定して、その特性に対する一連の値を生成するステップと、一連の値に関数を適合させるステップと、関数に基づいて研磨終点または研磨速度に対する調整を判定するステップとを含む。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
コンピュータ可読媒体上で明確に具体化されたコンピュータプログラム製品であり、
研磨中に監視すべき選択されたスペクトル特徴の識別情報および選択されたスペクトル特徴の特性を受け取る命令と、
基板が研磨されている間に基板から反射された光の一連のスペクトルを測定し、研磨中に材料が除去されるため、一連のスペクトルの少なくとも一部が異なる命令と、
一連のスペクトル内のそれぞれのスペクトルに対する選択されたスペクトル特徴の特性の値を判定して、特性に対する一連の値を生成する命令と、
一連の値に対応する命令と、
関数に基づいて研磨終点または研磨速度に対する調整の少なくとも1つを判定する命令と
を含むコンピュータプログラム製品。
IPC (3件)：
H01L 21/304
, B24B 37/013
, B24B 49/12
H01L21/304 622S
, B24B37/04 K
, B24B49/12
3C034AA07
, 3C034CA02
, 3C034CA22
, 3C034CB03
, 3C034DD03
, 3C158AA07
, 3C158AC02
, 3C158BA09
, 3C158BB06
, 3C158DA12
, 3C158DA17
, 3C158EA11
, 3C158EB15
, 3C158EB21
, 5F057AA20
, 5F057BA11
, 5F057BB03
, 5F057CA11
, 5F057DA03
, 5F057EB06
, 5F057EB12
, 5F057GA01
, 5F057GA12
, 5F057GA16
, 5F057GB02
, 5F057GB20
