振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡辺和昭 , 西田圭介 , 仲井智至 , 須澤修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070896
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207337
特許番号：特許第6064350号
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】厚み滑り振動し、表裏の関係にある第1の主面および第2の主面を含むATカット水晶基板と、前記第1の主面に設けられている第1の励振電極と、前記第2の主面に設けられ、平面視で、前記第1の励振電極よりも大きい第2の励振電極と、を含み、前記第1の励振電極は、平面視で、前記第2の励振電極の外縁内に収まっており、エネルギー閉じ込め係数Mが、 M=K・(hx/2・ts)・(△)1/2 17.1≦M≦35.7 (Kは前記ATカット水晶基板の異方性係数、hxは前記厚み滑り振動の変位方向に沿った前記第1の励振電極寸法、tsは前記ATカット水晶基板の板厚、△は前記第1の励振電極および前記第2の励振電極のプレートバック量) を満たし、前記厚み滑り振動の共振周波数が200MHz以上であることを特徴とする振動素子。

IPC (2件)：

H03H 9/19 ( 200 6.01) , H03H 9/215 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H03H 9/19 F , H03H 9/215

引用特許：

審査官引用 (6件)

超薄板圧電振動素子の電極構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-067667 出願人：東洋通信機株式会社
水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-005486 出願人：日本電波工業株式会社
超高周波ATカット水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-196195 出願人：東洋通信機株式会社

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