特許

J-GLOBAL ID：201703014670085260

プラズマリアクタ

発明者： 伊藤 伸介 ,  坂井 茂仁 ,  灘浪 紀彦
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 渥美 久彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-059117
公開番号（公開出願番号）：特開2017-174620
出願日： 2016年03月23日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】複数のパネルを安定して保持し、かつパネルの破損を防止することにより、信頼性を向上させることが可能なプラズマリアクタを提供すること。【解決手段】本発明のプラズマリアクタは、プラズマパネル積層体20と3つ以上のクランプ71〜76とを備える。プラズマパネル積層体20は、複数の内層パネル30と一対の外層パネル50とを積層した構造を有し、隣接する内層パネル30間に電圧を印加することによってプラズマを発生させる。クランプ71〜76は、複数の内層パネル30及び外層パネル50を積層方向に挟み込んで固定する。なお、一対の外層パネル50のうち少なくとも一方の外層パネル50は、複数のパネル片54〜56に分割される。そして、それぞれのパネル片54〜56の表面は、2つ以下のクランプ71〜76に押圧される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

放電電極を有する複数の内層パネルと、前記複数の内層パネルよりも外層側に位置する一対の外層パネルとを積層した構造を有し、隣接する前記内層パネル間に電圧を印加することによってプラズマを発生させるプラズマパネル積層体と、 前記複数の内層パネル及び前記外層パネルを積層方向に挟み込んで固定する3つ以上のクランプと を備えるプラズマリアクタであって、 前記外層パネルは前記放電電極を有しておらず、 前記一対の外層パネルのうち少なくとも一方の外層パネルは、複数のパネル片に分割されており、 1つの前記パネル片の表面は、2つ以下の前記クランプに押圧される ことを特徴とするプラズマリアクタ。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  F01N 3/028

FI (3件)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  F01N3/028

Fターム (33件)：

2G084AA18 ,  2G084BB31 ,  2G084BB32 ,  2G084CC08 ,  2G084CC19 ,  2G084CC34 ,  2G084DD01 ,  2G084DD15 ,  2G084DD22 ,  2G084DD25 ,  2G084DD32 ,  2G084DD64 ,  2G084FF38 ,  2G084FF39 ,  3G190AA02 ,  3G190BA26 ,  3G190BA43 ,  3G190CA21 ,  3G190CB47 ,  4G075AA27 ,  4G075AA37 ,  4G075AA51 ,  4G075BA06 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075FA01 ,  4G075FA12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04