特許

J-GLOBAL ID：201703014683021546

欠陥検査装置、欠陥検査方法及びプログラム

発明者： 清水 大晃
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (2件)： 机 昌彦 ,  下坂 直樹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016001095
公開番号（公開出願番号）：WO2016-139929
出願日： 2016年03月01日
公開日（公表日）： 2016年09月09日
要約：

本発明は、移動体として飛翔体を用いた場合でも検査構造物の打音の欠陥検査と撮像による検査が行え、欠陥検査を効率的に行える欠陥検査装置を提供することを目的とする。そのために本発明では、空間を自在に移動可能な移動手段11と、検査構造物の検査対象領域の壁面検査を行う検査手段12と、検査手段12が一端に取り付けられるアーム手段16と、アーム手段16を回動させて検査手段12の方向を制御する第1の指向手段13と、検査構造物の検査対象領域を撮像する撮像手段18と、撮像手段18を回動させて撮像手段18の撮像方向を制御する第2の指向手段19とを備える。

請求項（抜粋）：

空間を自在に移動可能な移動手段と、 前記移動手段上に設けられ検査構造物の検査対象領域の壁面検査を行う検査手段と、 前記検査手段が一端に取り付けられるアーム手段と、 前記アーム手段を回動させて前記検査手段の方向を制御する第1の指向手段と、 前記移動手段上に設けられ前記検査構造物の検査対象領域を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段を回動させて前記撮像手段の撮像方向を制御する第2の指向手段とを備える ことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (6件)：

G01N 29/265 ,  G01N 29/12 ,  G01N 29/04 ,  B64C 39/02 ,  B64C 27/08 ,  B64D 47/08

FI (6件)：

G01N29/265 ,  G01N29/12 ,  G01N29/04 ,  B64C39/02 ,  B64C27/08 ,  B64D47/08

Fターム (7件)：

2G047AC00 ,  2G047BA04 ,  2G047CA03 ,  2G047EA09 ,  2G047GA07 ,  2G047GA21 ,  2G047GJ02