特許
J-GLOBAL ID:201703014686981311

差分測定に基づき顕微鏡検査をスキャンするためのオートフォーカス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 笛田 秀仙 ,  矢ヶ部 喜行
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-097603
公開番号(公開出願番号):特開2016-173594
特許番号:特許第6151824号
出願日: 2016年05月16日
公開日(公表日): 2016年09月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 顕微鏡システムに関するオートフォーカス撮像システムであって、 関心対象物のプライマリ画像データ並びに前記関心対象物の斜め断面の第1及び第2のオートフォーカス画像データを取得する、光学軸に対して傾けられる一つの物理的な画像センサと、 前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡システムの焦点位置の有極誤差信号を生成する計算ユニットとを有し、 前記第1及び第2のオートフォーカス画像データは、前記関心対象物の異なる位置について取得される、オートフォーカス撮像システム。
IPC (6件):
G02B 21/26 ( 200 6.01) ,  G02B 21/36 ( 200 6.01) ,  G02B 7/36 ( 200 6.01) ,  G03B 13/36 ( 200 6.01) ,  H04N 5/225 ( 200 6.01) ,  H04N 5/232 ( 200 6.01)
FI (6件):
G02B 21/26 ,  G02B 21/36 ,  G02B 7/36 ,  G03B 13/36 ,  H04N 5/225 300 ,  H04N 5/232 120

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