特許
J-GLOBAL ID：201703014881806494

MEMSデバイス・アンカリング

発明者：
ロベルトゥス・ペトルス・ファン・カンペン

ロベルトゥス・ペトルス・ファン・カンペン について

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ミカエル・ルノー

ミカエル・ルノー について

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ビクラム・ジョシ

ビクラム・ジョシ について

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リチャード・エル・ナイプ

リチャード・エル・ナイプ について

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アナルツ・ウナムノ

アナルツ・ウナムノ について


出願人/特許権者：
キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド

キャベンディッシュ・キネティックス・インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  竹内 三喜夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-528634
特許番号：特許第6165730号
出願日： 2012年08月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1電極と、 第2電極と、 上記第2電極の上方に配置された誘電性ルーフと、 上記誘電性ルーフを通り形成された一もしくは複数のリリース穴と、 上記第1電極と上記第2電極との間で移動可能であり空胴内に配置されたスイッチング素子と、 上記誘電性ルーフを覆い、及び一もしくは複数の上記リリース穴内に配置された封止層と、ここで該封止層の少なくとも一部は、上記スイッチング素子の少なくとも一部に接している、 を備えたマイクロ電気機械デバイス。
IPC (3件)：
H01H 59/00 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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