特許
J-GLOBAL ID：201703015062218806
ダイシング装置及びダイシング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-034317
公開番号（公開出願番号）：特開2017-152564
出願日： 2016年02月25日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】色収差の影響を排除して高精度なオートフォーカス及びパターンマッチングを行う。【解決手段】撮像素子から基準となる色の画像信号と基準となる色以外の色の画像信号とを含む複数の色の画像信号を取得する観察光学部と、ワークの表面の色に応じて複数の色のうち少なくとも1つの色を選択する選択部と、ワークに対する対物レンズの相対位置を、選択された色の画像信号のコントラストが最大となる合焦位置に設定するオートフォーカス部と、観察光学部における基準となる色の合焦位置と基準となる色以外の色の合焦位置との差分を色毎に記憶する記憶部と、オートフォーカス部によって設定された合焦位置を、記憶部に記憶された差分であって、選択された色の差分に基づいて補正する補正部と、補正された合焦位置の情報に基づいてワークを加工する加工部と、を備えたダイシング装置によって上記課題を解決する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ワークを保持する保持部と、
対物レンズと、前記対物レンズを介して前記ワークを照射する第1の光源と、前記対物レンズを介して前記ワークからの反射光を受光する撮像素子と、を有し、前記撮像素子から基準となる色の画像信号と前記基準となる色以外の色の画像信号とを含む複数の色の画像信号を取得する観察光学部と、
前記ワークの表面の色に応じて前記複数の色のうち少なくとも1つの色を選択する選択部と、
前記ワークに対する前記対物レンズの相対位置を、前記選択された色の画像信号のコントラストが最大となる合焦位置に設定するオートフォーカス部と、
前記観察光学部における前記基準となる色の合焦位置と前記基準となる色以外の色の合焦位置との差分を色毎に記憶する記憶部と、
前記オートフォーカス部によって設定された合焦位置を、前記記憶部に記憶された差分であって、前記選択された色の差分に基づいて補正する補正部と、
前記補正された合焦位置の情報に基づいて前記ワークを加工する加工部と、
を備えたダイシング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B23K 26/046
, B23K 26/53
H01L21/78 B
, B23K26/046
, B23K26/53
4E168AE01
, 4E168CA06
, 4E168CA07
, 4E168CB13
, 4E168DA02
, 4E168DA40
, 4E168DA44
, 4E168EA03
, 4E168EA11
, 5F063AA29
, 5F063CB07
, 5F063DD27
, 5F063DD32
