特許
J-GLOBAL ID：201703015135836120
走査型電子顕微鏡および試料を検査およびレビューする方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-511732
公開番号（公開出願番号）：特表2017-526142
出願日： 2015年08月28日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
走査型電子顕微鏡は、複数画素固体電子検出器を組み込む。複数画素固体検出器は、後方散乱電子および/または2次電子を検出してもよい。複数画素固体検出器は、アナログデジタル変換器などを組み込んでもよい。複数画素固体検出器は、入射電子のエネルギーをほぼ決定することができてもよく、かつ/または電子信号を処理または分析するための回路を含んでもよい。複数画素固体検出器は、たとえば、約100MHz以上の速度での高速動作に適している。走査型電子顕微鏡は、パターン付けされていない半導体ウェーハ、パターン付けされた半導体ウェーハ、レチクル、またはフォトマスクなど、試料をレビュー、検査、または測定するために使用してもよい。試料をレビューまたは検査する方法も記載される。
請求項（抜粋）：
1次電子ビームを生成するように構成された電子源と、
前記1次電子ビームを集束させ、試料の区域全体にわたって前記1次電子ビームをスキャンするように構成された電子光学システムと、
前記1次電子ビームに応答して前記試料から放出または散乱される入射電子を検出し、前記検出された入射電子によって第1の画像データ信号を生成するように構成された第1の固体検出器と、
前記第1の固体検出器から受信した前記第1の画像データ信号によって、前記試料の前記区域の画像を生成するように構成されたコンピュータと
を備える走査型電子顕微鏡(SEM)であって、
前記第1の固体検出器が、
pタイプの電子感知層であって、前記電子感知層の第1の表面を介して前記電子感知層に入るそれぞれの前記入射電子に応答して、複数の電子を生成するように構成されたpタイプの電子感知層、
前記電子感知層の第2の表面上に配置され、前記電子感知層によって生成される前記複数の電子の少なくともいくらかを収集するように構成されたnタイプの埋込みチャネル層、
n+フローティングディフュージョンであって、前記埋込みチャネル層に配置され、前記埋込みチャネル層によって収集される前記電子の少なくともいくらかを蓄積するように構成され、その結果、前記フローティングディフュージョンの電圧が、前記フローティングディフュージョン上に蓄積された前記電子の数に比例して変化するn+フローティングディフュージョン、および
前記フローティングディフュージョンの前記電圧によって出力信号を生成するように構成された増幅器を含む電子センサを備え、
前記電子感知層、前記埋込みチャネル層、前記フローティングディフュージョン、および前記増幅器が、単一の一体型半導体構造体上に配置されることを特徴とする走査型電子顕微鏡(SEM)。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5C033NN01
, 5C033NN02
, 5C033NP06
, 5C033NP08
, 5C033UU03
, 5C033UU04
, 5C033UU10
