特許
J-GLOBAL ID：201703015207701608
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-014508
公開番号（公開出願番号）：特開2017-131944
出願日： 2016年01月28日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：
【課題】装置の大型化を抑制しつつ、加工対象物のレーザ光入射面の変位データを取得することができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ加工装置は、支持台と、レーザ発振器と、反射型空間光変調器410と、集光レンズユニット430と、両側テレセントリック光学系を構成する一対のレンズ422,423と、ダイクロイックミラー403と、一方の測距センサ450と、を備える。ミラー403から集光レンズユニット430に至るレーザ光Lの光路は、第1方向に沿うように設定されている。空間光変調器410からミラー403に至るレーザ光Lの光路は、第1方向に垂直な第2方向に沿うように設定されている。一方の測距センサ450は、第1方向及び第2方向に垂直な第3方向において集光レンズユニット430の一方の側に配置されている。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
加工対象物を支持する支持部と、
レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光を変調しつつ反射する反射型空間光変調器と、
前記加工対象物に対して前記レーザ光を集光する集光光学系と、
前記反射型空間光変調器の反射面と前記集光光学系の入射瞳面とが結像関係にある両側テレセントリック光学系を構成する結像光学系と、
前記結像光学系を通過した前記レーザ光を前記集光光学系に向けて反射するミラーと、
前記加工対象物のレーザ光入射面の変位データを取得する第1センサと、を備え、
前記ミラーから前記集光光学系に至る前記レーザ光の光路は、第1方向に沿うように設定されており、
前記反射型空間光変調器から前記結像光学系を介して前記ミラーに至る前記レーザ光の光路は、前記第1方向に垂直な第2方向に沿うように設定されており、
前記第1センサは、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向において前記集光光学系の一方の側に配置されている、レーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/53
, B23K 26/02
, B23K 26/064
, G02B 5/00
B23K26/53
, B23K26/02 A
, B23K26/064 Z
, G02B5/00 Z
2H042AA02
, 2H042AA03
, 2H042AA19
, 2H042AA21
, 4E168AD02
, 4E168AE01
, 4E168CA06
, 4E168CA13
, 4E168CB07
, 4E168CB13
, 4E168CB15
, 4E168DA02
, 4E168DA03
, 4E168DA60
, 4E168EA02
, 4E168EA11
, 4E168JA12
, 4E168JA13
