特許

J-GLOBAL ID：201703015334960396

オゾンガス発生装置およびオゾンガス発生装置の製造方法

発明者： 松野 敬
出願人/特許権者： 住友精密工業株式会社
代理人 (1件)： 宮園 博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-061387
公開番号（公開出願番号）：特開2017-171551
出願日： 2016年03月25日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】オゾンガスを安定して発生させること可能であり、かつ、容易に製造することが可能なオゾンガス発生装置を提供する。【解決手段】このオゾンガス発生装置100は、第1電極111を含む第1電極部11と、第1電極部11と対向するとともに、第1電極部11との間で放電可能な所定の間隔を隔てて配置され、第2電極121を含む第2電極部12とを備える。第1電極部11および第2電極部12は、互いに対向する側の第1電極111および第2電極121の面に設けられた誘電体112および122と、互いに対向する側の誘電体112および122の面の少なくとも一部に設けられ、金属または金属化合物の少なくとも1つを含む機能膜113および123とを含む。第1電極部11および第2電極部12は、互いに対向する表面の間隔D1の精度が±3%以上±50%以下に構成されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1電極を含む第1電極部と、 前記第1電極部と対向するとともに、前記第1電極部との間で放電可能な所定の間隔を隔てて配置され、第2電極を含む第2電極部とを備え、 前記第1電極部および前記第2電極部は、少なくとも一方が、互いに対向する側の前記第1電極または前記第2電極の面に設けられた誘電体を含むとともに、少なくとも一方が、互いに対向する側の前記第1電極、前記第2電極または前記誘電体の面の少なくとも一部に設けられ、金属または金属化合物の少なくとも1つを含む層を含み、 前記第1電極部および前記第2電極部は、互いに対向する表面の間隔の精度が±3%以上±50%以下に構成されている、オゾンガス発生装置。

IPC (1件)：

C01B 13/11

FI (2件)：

C01B13/11 H ,  C01B13/11 J

Fターム (5件)：

4G042CA01 ,  4G042CC04 ,  4G042CC13 ,  4G042CC16 ,  4G042CC21