その場洗浄能力を備えたスピンチャック

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-234629
公開番号（公開出願番号）：特開2017-112364
出願日： 2016年12月02日
公開日（公表日）： 2017年06月22日
要約：

【課題】洗浄能力を内蔵したスピンチャックを含む装置を提供する。【解決手段】ウエハ形状物品を処理するための装置において、スピンチャック16が処理チャンバ13内に配置される。スピンチャックは、ウエハW形状物品を所定の処理位置に保持するよう構成されている。カバー14が、スピンチャックを覆っており、一緒に回転するように、スピンチャックに取り付けられるかまたはスピンチャックと一体化されている。カバーは、中央開口部を有する。放出端がカバーの中央開口部を貫通するように、固定されたノズルアセンブリが処理チャンバ内に伸びている。ノズルアセンブリは、リンス液をノズルアセンブリの半径方向外向きにカバーの下向きの面へ方向付けるよう構成されたリンスノズルを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウエハ形状物品を処理するための装置であって、処理チャンバと、前記処理チャンバ内に配置され、ウエハ形状物品を所定の処理位置に保持するよう構成されたスピンチャックと、前記スピンチャックを覆うカバーであって、前記スピンチャックと共に回転するように前記スピンチャックに固定されるかまたは一体的に形成され、中央開口部を有するカバーと、放出端が前記カバーの前記中央開口部を貫通するように前記処理チャンバ内に伸びる固定されたノズルアセンブリとを備え、前記ノズルアセンブリは、リンス液を前記ノズルアセンブリの半径方向外向きに前記カバーの下向きの面へ方向付けるよう構成されたリンスノズルを備える装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 , H01L 21/027 , H01L 21/306

FI (5件)：

H01L21/304 643Z , H01L21/30 572A , H01L21/304 643A , H01L21/304 645Z , H01L21/306 R

Fターム (19件)：

5F043DD13 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE40 , 5F146MA13 , 5F146MA19 , 5F157AA16 , 5F157AB02 , 5F157AB18 , 5F157AB33 , 5F157AB42 , 5F157AB90 , 5F157AC24 , 5F157BB23 , 5F157BG03 , 5F157BH18 , 5F157CB01 , 5F157CB13 , 5F157CC11

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