特許

J-GLOBAL ID：201703015460863380

イメージセンサの製造方法

発明者： 熊井 晃一
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (2件)： 廣瀬 一 ,  宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-080665
公開番号（公開出願番号）：特開2017-191215
出願日： 2016年04月13日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】隣り合うマイクロレンズ間のレンズ間ギャップを0にすることができる、グレイトーンマスクを使用したマイクロレンズの製造方法を提供すること。【解決手段】シリコンウエハ2上にマトリクス状に配される複数の光電変換素子3と、複数の光電変換素子3を形成する素子形成工程と、素子形成工程の後、複数の光電変換素子3に対応してマトリクス状に配される凸型形状の複数のマイクロレンズ5を形成するレンズ形成工程とを含み、レンズ形成工程が、複数のマイクロレンズ5のうち、千鳥状に配された複数の第1マイクロレンズ5aを、グレイトーンマスクを用いるフォトリソグラフィ法により形成する第1レンズ形成工程と、第1レンズ形成工程の後、複数のマイクロレンズ5のうち、第1マイクロレンズ5a以外となる、千鳥状に配された複数の第2マイクロレンズ5bを、グレイトーンを用いるフォトリソグラフィ法により形成する第2レンズ形成工程とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコンウエハ上にマトリクス状に配される複数の光電変換素子を形成する素子形成工程と、 該素子形成工程の後、前記複数の光電変換素子に対応してマトリクス状に配される凸型形状の複数のマイクロレンズを形成するレンズ形成工程と を含み、 前記レンズ形成工程が、 前記複数のマイクロレンズのうち、千鳥状に配された複数の第1マイクロレンズを、グレイトーンマスクを用いるフォトリソグラフィ法により形成する第1レンズ形成工程と、 該第1レンズ形成工程の後、複数の前記マイクロレンズのうち、前記第1マイクロレンズ以外となる、千鳥状に配された複数の第2マイクロレンズを、グレイトーンを用いるフォトリソグラフィ法により形成する第2レンズ形成工程とを含むことを特徴とするイメージセンサの製造方法。

IPC (4件)：

G03F 7/20 ,  H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H04N 5/369

FI (4件)：

G03F7/20 501 ,  H01L27/14 D ,  G02B3/00 A ,  H04N5/335 690

Fターム (32件)：

2H197AB05 ,  2H197AB12 ,  2H197BA11 ,  2H197CA03 ,  2H197CA08 ,  2H197CE10 ,  2H197FA04 ,  2H197HA03 ,  2H197HA08 ,  2H197JA12 ,  2H197JA15 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA01 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118HA31 ,  4M118HA33 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レンズおよびその製造方法、固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-283821   出願人：シャープ株式会社