特許
J-GLOBAL ID:201703015461399580
圧電アクチュエータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-076660
公開番号(公開出願番号):特開2017-188583
出願日: 2016年04月06日
公開日(公表日): 2017年10月12日
要約:
【課題】小型でありながら、圧電素子への電気的接続に関する信頼性を改善した圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ10は、側面に一対の外部電極24aが形成されており、前記外部電極に電気的に接続される内部電極層が圧電体層を挟んで交互に積層される圧電素子20と、前記圧電素子の積層方向における一対の端面にそれぞれ接合されるシャフト12及び錘40と、リードフレームを有しており前記外部電極にそれぞれ接合され、前記圧電素子に電力を供給する一対の配線部30aと、を有する。前記外部電極と前記配線部との電気的、かつ、物理的な接合面は、前記外部電極が形成される側面に垂直な方向から見て前記圧電素子の圧電活性領域に重なる活性接合領域を有しており、前記活性接合領域における接合面の外周は、前記積層方向に直交する面に平行な平行直線部分を有さない。【選択図】図1
請求項(抜粋):
側面に一対の外部電極が形成されており、前記外部電極に電気的に接続される内部電極層が圧電体層を挟んで交互に積層される圧電素子と、
前記圧電素子の積層方向における一対の端面にそれぞれ接合されるシャフト及び錘と、
リードフレームを有しており前記外部電極にそれぞれ接合され前記圧電素子に電力を供給する一対の配線部と、を有し、
前記外部電極と前記配線部との電気的かつ物理的な接合面は、前記外部電極が形成される前記側面に垂直な方向から見て前記圧電素子の圧電活性領域に重なる活性接合領域を有しており、前記活性接合領域における前記接合面の外周は、前記積層方向に直交する面に平行な平行直線部分を有さないことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (6件):
H01L 41/047
, H01L 41/083
, H01L 41/09
, H01L 41/293
, H01L 41/053
, G02B 7/04
FI (6件):
H01L41/047
, H01L41/083
, H01L41/09
, H01L41/293
, H01L41/053
, G02B7/04 E
Fターム (2件):
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