特許

J-GLOBAL ID：201703015634833213

レーザによる穿孔加工方法及びその加工装置

発明者： 佐藤伸一
出願人/特許権者： 株式会社フォーサイトテクノ
代理人 (1件)： 澤田 一範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-199871
公開番号（公開出願番号）：特開2017-071134
出願日： 2015年10月08日
公開日（公表日）： 2017年04月13日
要約：

【課題】インクジェットノズルのテーパ形状を高度にコントロールしつつ、これをインクの吐出側から逆テーパ形状にレーザを用いて穿孔加工する方法及びその加工装置の提供を目的とする。【解決手段】パルス発振するレーザから出射するビームを、ダブプリズムの回転により自転させ、当該ダブプリズムの回転と所定の関係をもって光軸に対し傾いて回転する平行平面板によりその自転するビームを光軸からシフトさせ、当該シフト量を半径として公転する際差運動ビームに成形し、これをレンズアレイ、マスク及び反射対物レンズを含む縮小結像光学系によりノズルプレートに縮小投影し、逆テーパ穿孔加工する。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複合型ノズルプレートに対しインクジェット用のノズルをレーザにより逆テーパ状に穿孔加工する方法であって、 パルス発振するレーザから出射するビームを、ビーム整形光学系を介し光軸周りに回転するダブプリズムに入射するステップと、 当該ダブプリズムから自転しながら出射するビームを、当該自転の回転速度及び回転方向に対し所定の関係を有する回転速度及び回転方向にて、前記光軸周りに角度をもって回転する平行平面板に入射するステップと、 当該平行平面板により前記光軸からビームがシフトする量を半径として公転しながら出射する際差運動ビームをレンズアレイに入射するステップと、 当該レンズアレイを通過した歳差運動ビームをマスクに照射するステップと、 当該マスク上に描画されたマスクパターンを通過した歳差運動ビームを、反射対物レンズを用いた縮小結像光学系により、ステージ上に載置された被加工物面上に縮小投影するステップと、 を有するレーザ穿孔加工方法。

IPC (1件)：

B41J 2/16

FI (2件)：

B41J2/16 511 ,  B41J2/16 401

Fターム (5件)：

2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AP12 ,  2C057AP23 ,  2C057AP90