特許

J-GLOBAL ID：201703015782111669

ビーム生成ユニットおよびX線小角散乱装置

発明者： 表 和彦 ,  伊藤 和輝
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (2件)： 福地 武雄 ,  白川 洋一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2015052879
公開番号（公開出願番号）：WO2015-146287
出願日： 2015年02月02日
公開日（公表日）： 2015年10月01日
要約：

コンパクトな構成でかつ高い信号バックグラウンド比で非等方の像を同時に撮れる微小ビーム生成ユニットおよびX線小角散乱装置を提供する。1次元検出器または2次元検出器により回折X線を検出するため、試料に照射する微小なスポットサイズのX線を生成する微小ビーム生成ユニット110であって、X線光路上に設けられ、X線を平行ビームに整形するスリット115と、(+,-,-,+)に配置され、スリットで整形された平行ビームの寄生散乱を除去する2個のチャンネルカットモノクロメータ結晶117、118と、を備える。これにより、コンパクトな構成でかつ高い信号バックグラウンド比で非等方の像を同時に得ることができる。

請求項（抜粋）：

散乱X線または回折X線を検出するため、試料に照射するX線を生成するビーム生成ユニットであって、 X線光路上に設けられ、X線のビーム形状を整形するスリットと、 (+,-,-,+)に配置され、前記スリットで整形された平行ビームの寄生散乱を除去し、平行かつ微小なX線ビームを生成する2個のチャンネルカットモノクロメータ結晶と、を備えることを特徴とするビーム生成ユニット。

IPC (3件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/201 ,  G21K 1/06

FI (5件)：

G01N23/20 310 ,  G01N23/201 ,  G21K1/06 S ,  G21K1/06 M ,  G21K1/06 L

Fターム (8件)：

2G001AA01 ,  2G001BA14 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA01 ,  2G001EA03 ,  2G001GA01