特許
J-GLOBAL ID：201703015827822642
圧力センサチップ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-240810
公開番号（公開出願番号）：特開2017-106812
出願日： 2015年12月10日
公開日（公表日）： 2017年06月15日
要約：
【課題】加工性、応答速度の劣化を緩和、抑制しつつ、飛躍的な耐圧向上を達成する。【解決手段】ストッパ部材に設ける導圧孔11-2dの孔形状を、十字形の中心に位置する中心部分H0と、この中心部分H0の外縁から四方に連続して延びた延伸部分H1〜H4とから構成される十字形の孔形状とする。この孔形状において、幅Wは耐圧に寄与し、長さLは応答性と加工性に寄与する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、このセンサダイアフラムの一方の面および他方の面にその周縁部を対面させて接合され、前記センサダイアフラムへ測定圧を導く導圧孔を有する第1および第2の保持部材とを備えた圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材は、
前記センサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該センサダイアフラムの過度な変位を阻止するそのセンサダイアフラムの変位に沿った曲面状の凹部を備え、
前記第1の保持部材の導圧孔は、
前記第1の保持部材を貫いて前記第1の保持部材の曲面状の凹部に開口し、
前記第1の保持部材の導圧孔の前記第1の保持部材を貫く方向から見た孔形状は、
前記第1の保持部材の導圧孔の中心に位置する中心部分とこの中心部分の外縁の一部から連続して中心から外方向に延びた1つ以上の延伸部分とを備えた形状とされ、
前記第1の保持部材の導圧孔の孔形状の延伸部分の延伸方向に直交する方向の最大幅は、
前記第1の保持部材の導圧孔の孔形状の中心部分の外縁の幅以下とされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。
IPC (3件)：
G01L 19/06
, G01L 13/02
, H01L 29/84
G01L19/06 Z
, G01L13/02 Z
, H01L29/84 B
, H01L29/84 A
, H01L29/84 Z
2F055AA40
, 2F055BB05
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE11
, 2F055FF17
, 2F055FF21
, 2F055GG11
, 2F055HH05
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA04
, 4M112CA11
, 4M112DA18
, 4M112FA07
