特許
J-GLOBAL ID：201703016008689000
欠陥検査方法及び欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 棚井 澄雄
, 勝俣 智夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013076211
公開番号（公開出願番号）：WO2014-097704
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：
欠陥検査方法は、電磁超音波探触子において互いに隣接して一部が重なり合うように配列された複数のコイルに対して高周波信号を与えて、検査対象物に超音波振動を発生させる第1工程と;前記超音波振動のBエコーを前記複数のコイルのそれぞれで受信する第2工程と;前記超音波振動のFエコーを前記複数のコイルのそれぞれで受信する第3工程と;前記複数のコイルのそれぞれで受信された前記Bエコーの信号強度を、前記複数のコイルの稼働状態に基づいて補正する第4工程と;前記Fエコーの信号強度と補正後の前記Bエコーの信号強度との比率を、前記複数のコイルのそれぞれについて計算し、その計算結果に基づいて前記検査対象物の内部欠陥を評価する第5工程と;を有する。
請求項（抜粋）：
電磁超音波探触子において互いに隣接して一部が重なり合うように配列された複数のコイルに対して高周波信号を与えて、検査対象物に超音波振動を発生させる第1工程と;
前記超音波振動のBエコーを前記複数のコイルのそれぞれで受信する第2工程と;
前記超音波振動のFエコーを前記複数のコイルのそれぞれで受信する第3工程と;
前記複数のコイルのそれぞれで受信された前記Bエコーの信号強度を、前記複数のコイルの稼働状態に基づいて補正する第4工程と;
前記Fエコーの信号強度と補正後の前記Bエコーの信号強度との比率を、前記複数のコイルのそれぞれについて計算し、その計算結果に基づいて前記検査対象物の内部欠陥を評価する第5工程と;
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N29/04 504
, G01N29/10 501
2G047AA07
, 2G047BC03
, 2G047BC10
, 2G047BC12
, 2G047CA02
, 2G047EA10
, 2G047GC01
, 2G047GC06
, 2G047GG28
, 2G047GG41
