特許
J-GLOBAL ID：201703016059843810
ワークピース搬送および配置装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人朝日奈特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-553269
公開番号（公開出願番号）：特表2017-500722
出願日： 2014年11月11日
公開日（公表日）： 2017年01月05日
要約：
自動化ワークピース処理装置は、処理位置でワークピースを処理するように構成される処理モジュールを含む処理セクションと、多段シャトルを含む搬送モジュールであって、多段シャトルは複数の動作自由度を有する第1のシャトルステージと、第1のステージから独立した複数の動作自由度を有する第2のシャトルステージとを有する搬送モジュールと、第1および第2のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタとを含み、エンドエフェクタは、ワークピースを保持し、処理モジュール内および処理モジュール外へワークピースを搬送するように構成され、またエンドエフェクタは、処理位置でワークピースを配置するために、処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから処理モジュール内部の処理位置まで延びる、第1および第2のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有するので、処理モジュールの処理ステージを定める搬送モジュールと、自動化装着および搬送セクションであって、ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるロードポートモジュールを含み、搬送モジュールに連通可能に接続されている自動化装着および搬送セクションとを含む。
請求項（抜粋）：
処理位置でワークピースを処理するように構成される処理モジュールを含む処理セクションと、
多段シャトルを含む搬送モジュールと、
ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるロードポートモジュールを含む自動化装着および搬送セクションとを備えた自動化ワークピース処理装置であって、
前記多段シャトルは、
複数の動作自由度を有する第1のシャトルステージと、
前記第1のステージから独立した複数の動作自由度を有する第2のシャトルステージと、
前記第1および第2のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタは、前記ワークピースを保持し、前記処理モジュール内および前記処理モジュール外へ前記ワークピースを搬送するように構成され、前記エンドエフェクタは、第1および第2のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有し、前記処理位置に前記ワークピースを配置するために、前記処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから前記処理モジュール内部の前記処理位置まで延び、前記処理モジュールの処理ステージを定める、エンドエフェクタと
を有し、
前記自動化装着および搬送セクションが、前記搬送モジュールに連通可能に接続されている、
自動化ワークピース処理装置。
IPC (2件)：
FI (5件)：
H01J37/20 B
, H01L21/68 A
, H01J37/20 A
, H01J37/20 C
, H01J37/20 D
5C001AA01
, 5C001AA02
, 5C001AA03
, 5C001AA04
, 5C001CC02
, 5C001CC04
, 5F131AA04
, 5F131BA39
, 5F131CA42
, 5F131DA03
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DB14
, 5F131DB54
, 5F131DB72
, 5F131DD03
, 5F131DD43
, 5F131DD73
, 5F131GA13
, 5F131GA23
, 5F131KA40
, 5F131KA52
, 5F131KB12
, 5F131KB23
, 5F131KB24
, 5F131KB58
