特許

J-GLOBAL ID：201703016081734048

表面改質装置

発明者： 小木曽 智 ,  森下 貴生 ,  稲村 達也 ,  吉田 純也 ,  杉村 智
出願人/特許権者： 春日電機株式会社
代理人 (1件)： 嶋 宣之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-109115
公開番号（公開出願番号）：特開2017-213772
出願日： 2016年05月31日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
要約：

【課題】放電電極からガスを直接放出させるとともに、それを簡単に構成できるようにする。【解決手段】 電極チャンバーC内の放電電極Eは、フィルムFの幅以上の長さを有する一対の電極部8,9からなる。そして、これら一対の電極部材8,9は、当該電極部材とほぼ同じ長さを有する支持部材4を挟持して対向配置されるとともに、これら一対の電極部材8,9の対向部分にすき間が形成され、このすき間をガス通路15として放電電極の先端に開放している。一方、上記支持部材4には、その長手方向に複数のガス誘導孔5を形成するとともに、このガス誘導孔をガス供給系統に連通させている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電極チャンバーに、フィルム等の処理基材の幅以上の長さを有する放電電極を備えるとともに、 この放電電極が、処理基材を搬送する処理ローラに対向し、 これら放電電極と処理ローラとの間で放電させる表面改質装置であって、 上記放電電極は、上記処理基材の幅にほぼ一致する長さを有する一対の電極部材からなり、 これら一対の電極部材は、当該電極部材とほぼ同じ長さを有する支持部材を挟持して対向し、 上記電極部材の上記対向部分に形成されるすき間をガス通路とするとともに、 このガス通路の先端が、放電電極と処理ローラとの対向部分に開放される一方、 支持部材には、置換ガス供給系統に連通するガス誘導孔が、当該支持部材の長手方向に複数形成され、 このガス誘導孔が上記ガス通路に連通する表面改質装置。

IPC (1件)：

B29C 71/04

FI (1件)：

B29C71/04

Fターム (7件)：

4F073BB01 ,  4F073CA22 ,  4F073CA27 ,  4F073HA01 ,  4F073HA08 ,  4F073HA10 ,  4F073HA12