フッ素エラストマー組成物、成型品、シール材、該シール材を含むプラズマ処理装置及び半導体製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本征二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-071064
公開番号（公開出願番号）：特開2017-179210
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】フッ素エラストマーの耐プラズマ性を向上し、且つ固着力を低下又はほぼ同等に維持できるフッ素エラストマー組成物の提供。【解決手段】フッ素エラストマー、及び、酸化イットリウム、を少なくとも含む、フッ素エラストマー組成物。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

フッ素エラストマー、及び、酸化イットリウム、を少なくとも含む、フッ素エラストマー組成物。

IPC (6件)：

C08L 27/12 , C08K 3/22 , C08L 83/04 , C09K 3/10 , F16J 15/10 , H01L 21/306

FI (7件)：

C08L27/12 , C08K3/22 , C08L83/04 , C09K3/10 M , C09K3/10 G , F16J15/10 G , H01L21/302 101G

Fターム (65件)：

3J040EA16 , 3J040FA07 , 3J040HA07 , 4F070AA23 , 4F070AC04 , 4F070AC13 , 4F070AC14 , 4F070AC19 , 4F070AC22 , 4F070AC45 , 4F070AC56 , 4F070AC66 , 4F070AC79 , 4F070AE01 , 4F070AE08 , 4F070GA05 , 4F070GA06 , 4F070GB02 , 4F070GB10 , 4F070GC01 , 4F070GC07 , 4F071AA26X , 4F071AA27X , 4F071AA30X , 4F071AB03 , 4F071AB18 , 4F071AB26 , 4F071AC12 , 4F071AC19 , 4F071AE02A , 4F071AF29 , 4F071AF58 , 4F071AG05 , 4F071AG28 , 4F071AH12 , 4F071BA01 , 4F071BB03 , 4F071BB05 , 4F071BC05 , 4H017AA03 , 4H017AA24 , 4H017AB12 , 4H017AB15 , 4H017AD06 , 4H017AE05 , 4J002BD141 , 4J002BD151 , 4J002BD161 , 4J002BE041 , 4J002BP031 , 4J002DE096 , 4J002FD010 , 4J002FD016 , 4J002FD140 , 4J002GJ02 , 4J002GQ00 , 5F004DA01 , 5F004DA02 , 5F004DA04 , 5F004DA11 , 5F004DA15 , 5F004DA16 , 5F004DA17 , 5F004DA24 , 5F004DA26

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