特許

J-GLOBAL ID：201703016242191961

ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機

発明者： 大谷 義和
出願人/特許権者： 信越エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013050215
公開番号（公開出願番号）：WO2014-109018
出願日： 2013年01月09日
公開日（公表日）： 2014年07月17日
要約：

真空中で粘着剥離された板状ワークを大気雰囲気で剥離部から容易且つ確実に剥離する。 粘着部1にて粘着保持された板状ワークWに対し、真空雰囲気で剥離部2を弾性的に突出変形して、押圧面2aを板状ワークWの表面W1と接触させることにより、粘着部1から板状ワークWが剥離される。その後、剥離部2の押圧面2aを板状ワークWの表面W1と接触させたままで、板状ワークWの周囲が大気開放されることにより、流路2pを通って剥離部2の外側空間S2から内側空間S1へ空気が流入し、剥離部2の内側空間S1と板状ワークWとの間が真空破壊される。

請求項（抜粋）：

粘着保持された板状ワークを真空雰囲気で剥離してから、該板状ワークの周囲が大気開放されるワーク粘着チャック装置であって、 前記板状ワークと対向するように設けられて該板状ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部と、 前記粘着部の外周を囲むように設けられ、前記板状ワークへ向かう突出変形に伴い前記板状ワークの表面に圧接して前記粘着部から強制的に剥離させる弾性変形可能な剥離部と、を備え、 前記剥離部は、その押圧面が前記板状ワークの前記表面と接触した際に、前記粘着部が配置される該剥離部の内側空間と、その反対側の外側空間を連通させる流路を有することを特徴とするワーク粘着チャック装置。

IPC (6件)：

H01L 21/683 ,  B65G 49/06 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133 ,  B65H 41/00 ,  G09F 9/00

FI (6件)：

H01L21/68 N ,  B65G49/06 A ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1339 505 ,  B65H41/00 C ,  G09F9/00 338

Fターム (39件)：

2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA29 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H189FA62 ,  2H189FA64 ,  2H189FA66 ,  2H189FA81 ,  2H189FA92 ,  2H189HA12 ,  2H189LA01 ,  3F108AA02 ,  3F108AB01 ,  3F108AC10 ,  3F108JA02 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131BA60 ,  5F131CA07 ,  5F131EA05 ,  5F131EB46 ,  5F131EB54 ,  5F131EB56 ,  5F131EB58 ,  5F131EB63 ,  5F131EB71 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EC63 ,  5F131EC65 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK01 ,  5G435KK10