特許

J-GLOBAL ID：201703016280232906

検査方法および検査装置

発明者： 中田 智 ,  網干 稔 ,  執行 和浩 ,  渡邊 英治
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 村上 啓吾 ,  大岩 増雄 ,  吉澤 憲治 ,  竹中 岑生
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016069001
公開番号（公開出願番号）：WO2017-006792
出願日： 2016年06月27日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
要約：

基準正常データ群(11)の基準空間(30)に対する、測定データ群のマハラノビス距離から判定し、異常であると判定した測定データ群を測定異常データ群とする第一判定部(101)と、基準正常データ群(11)および測定異常データ群の独立成分分析による測定異常係数から設定する測定異常フィルタ(71)にかけて補正基準正常データ群(4)および補正測定異常データ群(43)とするフィルタ処理部(102)と、補正基準正常データ群(4)の補正基準空間(80)に対する、補正測定異常データ群(43)のマハラノビス距離から正常か異常かを判定する第二判定部(103)とを備える。

請求項（抜粋）：

良品ワークの測定により得た基準正常データ群に基づく基準空間に対する、被検査ワークの測定により得た測定データ群のマハラノビス距離から正常か異常かを判定し、異常であると判定した前記測定データ群を測定異常データ群とする第一判定工程と、 前記基準正常データ群および前記測定異常データ群を、特徴量を低減するフィルタにかけて補正基準正常データ群および補正測定異常データ群とするフィルタ処理工程と、 前記補正基準正常データ群に基づく補正基準空間に対する、前記補正測定異常データ群のマハラノビス距離から正常か異常かを判定する第二判定工程とを備えた検査方法であって、 前記フィルタは、前記基準正常データ群および前記測定異常データ群の独立成分分析による測定異常係数から設定する検査方法。

IPC (2件)：

G01H 17/00 ,  G01M 99/00

FI (2件)：

G01H17/00 Z ,  G01M99/00 Z

Fターム (12件)：

2G024AD18 ,  2G024BA15 ,  2G024CA13 ,  2G024DA09 ,  2G064AA01 ,  2G064AA11 ,  2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064AB13 ,  2G064CC41 ,  2G064CC43 ,  2G064CC54