特許
J-GLOBAL ID:201703016362538477
観察装置、測定システム及び観察方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 河野 直樹
, 井上 正
, 鵜飼 健
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-058425
公開番号(公開出願番号):特開2017-169480
出願日: 2016年03月23日
公開日(公表日): 2017年09月28日
要約:
【課題】撮像部の位置を適切に制御できる観察装置を提供する。【解決手段】観察装置100は、撮像部170と、移動機構160と、座標演算部117と、位置制御部111とを含む。撮像部170は、対象物を撮影することで画像データを生成する。移動機構160は、対象物の撮影位置を変更するために前記撮像部170を移動させる。座標演算部117は、補助情報算出用光に係る画像データである補助情報算出用画像に基づいて、前記撮像部の撮像条件に係る情報を算出する。位置制御部111は、前記撮像条件に係る情報を利用して撮像部170の撮像を制御する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
対象物の観察のための観察用光に係る画像データである観察画像を取得する観察装置であって、
撮影によって、補助情報算出用光に係る画像データである補助情報算出用画像と前記観察画像とを生成する撮像部と、
前記対象物に対する撮影位置を変更するために前記撮像部を移動させる移動機構と、
前記観察画像とは異なる条件による撮影によって得られた前記補助情報算出用画像に基づいて、前記撮像部の撮像条件に係る情報を算出する演算部と、
前記撮像条件に係る情報を利用して前記撮像部の撮像を制御する制御部と
を備える観察装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (4件):
4B029AA01
, 4B029AA07
, 4B029BB11
, 4B029FA15
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