ウェハー搬送器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人岡田国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-526117
特許番号：特許第6096776号
出願日： 2012年08月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】前開きウェハー搬送器であって、ドア枠と、このドア枠で受け止めてウェハー搬送器を密封状態に閉めることのできるドアとを備えた収容部が設けられており、この収容部が複数の列をなすウェハー棚板を備え、複数枚のウェハーを縦に間隔を空けて揃えて積まれた状態で受けられるように配置されており、ドアが内側面と外側面と周縁とを有し、ドア枠に掛かることでドアを内部の装着位置に固定するラッチ部を複数備えたラッチ機構がドアに設けられており、ドアの内側面にウェハー保持具が取り付けられており、このウェハー保持具が骨格を備え、骨格から一対の列をなす片持ちの指状体が突き出ており、隣り合う2つの片持ち指状体の間にそれぞれ隙間があることにより複数の隙間が形成され、片持ち指状体が骨格に接続している固定端部のところに各隙間の終端があり、これによって各片持ち指状体に上縁部と下縁部が形成されており、各片持ち指状体が固定端部では実質平面的かつ厚さが実質均一で、固定端部から遠い側では折り目の付いた形状を帯び、この折り目の付いた形状によって片持ち指状体の先端部から中間部にわたってウェハー受け溝部が形成されており、ウェハー受け溝部の谷線が先端では上縁部寄りの位置を通り、中間部では片持ち指状体の縦方向の中央寄りを通っている、搬送器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ( 200 6.01) , B65D 85/86 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

引用特許：

出願人引用 (8件)

特許第5270668号
大口径のウエハ容器とウエハ取扱方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-542425 出願人：インテグリス・インコーポレーテッド
底板を有する正面開口基板容器
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-539684 出願人：インテグリス・インコーポレーテッド

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審査官引用 (8件)

特許第5270668号
大口径のウエハ容器とウエハ取扱方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-542425 出願人：インテグリス・インコーポレーテッド
底板を有する正面開口基板容器
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-539684 出願人：インテグリス・インコーポレーテッド

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