特許

J-GLOBAL ID：201703016380526648

検査方法及び検査装置

発明者： 豊田 哲慶 ,  森 祥一
出願人/特許権者： 平田機工株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013005366
公開番号（公開出願番号）：WO2015-037032
出願日： 2013年09月11日
公開日（公表日）： 2015年03月19日
要約：

本発明は、基板周縁を支持するスロットを上下方向に複数備えた基板収容器の検査方法を提供する。この検査方法は、載置台に前記基板収容器を載置する載置工程と、基板が挿入されている計測対象スロットに隣接する空きスロットの空間へ、センサを第1アーム機構によって水平に移動させ、前記基板の位置を計測する計測工程と、第2アーム機構によって、前記計測対象スロットから前記基板を抜き取り、他の前記スロットへ前記基板を入れ替える入替工程と、を備え、複数のスロットについて前記計測が完了するまで、前記計測工程と前記入替工程とを反復する。

請求項（抜粋）：

基板周縁を支持するスロットを上下方向に複数備えた基板収容器の検査を行う検査方法であって、 載置台に前記基板収容器を載置する載置工程と、 基板が挿入されている計測対象スロットに隣接する空きスロットの空間へ、センサを第1アーム機構によって水平に移動させ、前記基板の位置を計測する計測工程と、 第2アーム機構によって、前記計測対象スロットから前記基板を抜き取り、他の前記スロットへ前記基板を入れ替える入替工程と、を備え、 複数のスロットについて前記計測が完了するまで、前記計測工程と前記入替工程とを反復する、 ことを特徴とする検査方法。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  H01L 21/677

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  H01L21/68 A

Fターム (34件)：

5F131AA02 ,  5F131BA39 ,  5F131CA07 ,  5F131CA69 ,  5F131DA07 ,  5F131DA32 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DA62 ,  5F131DB02 ,  5F131DB22 ,  5F131DB43 ,  5F131DB52 ,  5F131DB58 ,  5F131DB62 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD33 ,  5F131DD43 ,  5F131DD73 ,  5F131DD83 ,  5F131DD92 ,  5F131GA14 ,  5F131GA63 ,  5F131GA88 ,  5F131HA04 ,  5F131HA29 ,  5F131KA16 ,  5F131KA47 ,  5F131KA52 ,  5F131KA61 ,  5F131KB12 ,  5F131KB52 ,  5F131KB58