特許
J-GLOBAL ID:201703016390465990

サファイア単結晶とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-159417
公開番号(公開出願番号):特開2017-078013
出願日: 2016年08月16日
公開日(公表日): 2017年04月27日
要約:
【課題】ネックから直胴部分への移行間隔(ΔT)を確実に低減可能にすると共に、ΔTの低減を製造装置の複雑化や高コスト化を招くこと無く実現することが出来るサファイア単結晶とその製造方法の提供。【解決手段】スリットを有するダイを坩堝に収容し、坩堝に酸化アルミニウム原料を投入して加熱、溶融して酸化アルミニウム融液を用意し、スリット上部に酸化アルミニウム融液溜まりを形成し、その酸化アルミニウム融液に種結晶を接触させ、種結晶を引き上げることで、所望の主面を有するサファイア単結晶2を種結晶からネックを介して成長させ、スリットの中心位置と種結晶の厚み中心位置を、種結晶を引き上げる方向で同軸上に設定して、サファイア単結晶2の直胴部分の幅をWとしたとき、サファイア単結晶の直胴部分の中心線SCとネックの中心線NCとのずれ量を、0.05W以下とするサファイア結晶の製造方法。【選択図】図13
請求項(抜粋):
サファイア単結晶はネックを介して形成されており、 サファイア単結晶の直胴部分の幅をWとしたとき、 サファイア単結晶の直胴部分の中心線と、ネックの中心線とのずれ量が、0.05W以下であることを特徴とするサファイア単結晶。
IPC (2件):
C30B 29/20 ,  C30B 15/34
FI (2件):
C30B29/20 ,  C30B15/34
Fターム (8件):
4G077AA02 ,  4G077BB01 ,  4G077CF03 ,  4G077EG01 ,  4G077EG25 ,  4G077HA20 ,  4G077PA01 ,  4G077PK05

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