特許
J-GLOBAL ID:201703016397514430
光検出装置、光検出方法およびプログラム
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2015053615
公開番号(公開出願番号):WO2015-125665
出願日: 2015年02月10日
公開日(公表日): 2015年08月27日
要約:
電気的な処理による位相敏感検出機構を確立し、簡易な構成で、微弱光を高速、高感度に検出可能な光検出装置、光検出方法およびプログラムを提供する。 第1パルス光を発生する光源部、第1パルス光が示す周波数スペクトルの一部から成る第2パルス光を透過し第1パルス光が示す周波数スペクトルの他部から成る第3パルス光を反射するフィルタ部、第2パルス光に対して複数の位相で位相変調する位相変調部、第3パルス光と位相変調部で位相変調された第2パルス光とを合波して第4パルス光とする合波部、および第4パルス光が対象物に照射されて発生した散乱光を分光して検出する検出部を含む光検出装置において、検出部で検出された散乱光の周波数スペクトルから位相変調部で位相変調された第2パルス光に基づいて散乱した散乱光の周波数スペクトルを所定の演算処理により位相変調部における位相変調と同期させて抽出する。
請求項(抜粋):
第1パルス光を発生する光源部と、
前記第1パルス光が示す周波数スペクトルの一部から成る第2パルス光を透過し前記第1パルス光が示す周波数スペクトルの他部から成る第3パルス光を反射するフィルタ部と、
前記第2パルス光を複数の位相で位相変調する位相変調部と、
前記第3パルス光と前記位相変調部で位相変調された第2パルス光とを合波して第4パルス光とする合波部と、
前記第4パルス光が対象物に照射されて発生した散乱光を分光して検出する検出部と、
前記検出部で検出された散乱光の周波数スペクトルから前記位相変調部で位相変調された第2パルス光に基づいて散乱した散乱光の周波数スペクトルを所定の演算処理により前記位相変調部における位相変調と同期させて抽出する抽出部と、
を含む光検出装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (31件):
2G043AA03
, 2G043BA16
, 2G043EA03
, 2G043EA04
, 2G043FA02
, 2G043GA02
, 2G043GB18
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043JA01
, 2G043JA03
, 2G043KA01
, 2G043LA03
, 2G043NA05
, 2G043NA06
, 2G059AA05
, 2G059AA06
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE03
, 2G059FF03
, 2G059HH01
, 2G059JJ01
, 2G059JJ03
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ30
, 2G059KK01
, 2G059KK04
, 2G059MM09
, 2G059MM10
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