特許

J-GLOBAL ID：201703016522171125

ニッケル含有膜堆積用ニッケルアリルアミジナート前駆体

発明者： ランサロット-マトラ、クレマン ,  横田 二郎
出願人/特許権者： レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (10件)： 蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  野河 信久 ,  峰 隆司 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  井関 守三 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-549624
特許番号：特許第6193260号
出願日： 2012年12月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 η3-2-メチルアリルN,N’-ジイソプロピルアセトアミジナートである、CVD またはALDによって、ニッケル含有膜を得るためのニッケル含有前駆体。

IPC (8件)：

C23C 16/18 ( 200 6.01) ,  C07F 15/04 ( 200 6.01) ,  H01L 21/285 ( 200 6.01) ,  H01L 21/28 ( 200 6.01) ,  H01L 21/8239 ( 200 6.01) ,  H01L 27/105 ( 200 6.01) ,  H01L 45/00 ( 200 6.01) ,  H01L 49/00 ( 200 6.01)

FI (7件)：

C23C 16/18 ,  C07F 15/04 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 27/105 448 ,  H01L 45/00 Z ,  H01L 49/00 Z