特許
J-GLOBAL ID：201703016535452026
液体吐出ヘッド用基板の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宮崎 昭夫
, 緒方 雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-119767
公開番号（公開出願番号）：特開2014-237229
特許番号：特許第6128972号
出願日： 2013年06月06日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 シリコン基板を貫通する液体供給口をドライエッチングにより形成する工程を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、
前記工程は、
(1)シリコン基板上にエッチング保護膜を形成する工程と、
(2)前記エッチング保護膜のうち、底部のエッチング保護膜を除去する工程と、
(3)シリコン基板をエッチングする工程と、を順次繰り返す工程であり、
前記工程(2)において形成されるシースは、前記工程(3)において形成されるシースよりも厚い液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/16 ( 200 6.01)
, B41J 2/14 ( 200 6.01)
B41J 2/16 507
, B41J 2/16 101
, B41J 2/16 509
, B41J 2/14 201
, B41J 2/14 613
