特許

J-GLOBAL ID：201703016536237641

高周波電源装置及びその制御方法

発明者： 福本 佳樹 ,  鶴田 義範 ,  森井 龍哉 ,  深野 勝之
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (3件)： 菊池 新一 ,  菊池 徹 ,  松本 英俊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-217222
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072043
特許番号：特許第6116176号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電圧波形の包絡線の波形(以下包絡線波形という。)が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に複数有し、隣り合うレベル変化タイミングの間の期間がステップ状のレベル変化を示さないインターバル期間となっている波形を呈するように変調された高周波電力を出力する高周波電源装置を制御する方法であって、 前記包絡線波形の一連の周期を帰還制御実行周期と帰還制御休止周期とに分けて、各帰還制御実行周期と次の帰還制御実行周期との間に少なくとも一つの帰還制御休止周期が挟まれるようにしておき、 前記包絡線波形のレベルを検出するレベル検出部を設けておき、 各帰還制御実行周期においては、各インターバル期間をその開始直後に設定された過渡期間と該過渡期間が経過した後の安定期間とに分けて、各インターバル期間の前記過渡期間の間前記レベル検出部が検出するレベルを目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御で行った後、各インターバル期間の前記安定期間の間、前記レベル検出部が検出するレベルを目標レベルに保つ制御をフィードバック制御で行い、 各帰還制御休止周期では、各インターバル期間の全期間で前記レベル検出部が検出するレベルを、直近の帰還制御実行周期の対応するインターバル期間の安定期間で前記レベル検出部が検出したレベルに等しくする制御をオープンループ制御により行うこと、 を特徴とする高周波電源装置の制御方法。

IPC (2件)：

H05H 1/46 ( 200 6.01) ,  H02M 7/48 ( 200 7.01)

FI (2件)：

H05H 1/46 R ,  H02M 7/48 E

引用特許：

出願人引用 (4件)

• パルス化インテリジェントRF変調コントローラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-039884   出願人：イーエヌアイテクノロジィーズインコーポレイテッド
• 高周波電源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-115808   出願人：株式会社ダイヘン
• バーストTDMA送信機の自動出力制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-002823   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭64-081197