半導体装置、半導体装置の作製方法、および電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-151002
公開番号（公開出願番号）：特開2017-034258
出願日： 2016年08月01日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
要約：

【課題】寄生容量を低減した半導体装置を提供する。【解決手段】基板上に第1絶縁層を成膜し、第1絶縁層上に第1酸化物絶縁層、酸化物半導体層を成膜し、酸化物半導体層、および第1絶縁層上に第2酸化物絶縁層を成膜し、第2酸化物絶縁層上に第2絶縁層、第1導電層を成膜し、エッチングすることによりゲート電極層およびゲート絶縁層、第3酸化物絶縁層を形成し、ゲート電極層の側面と接する領域を有する側壁絶縁層を形成し、ゲート電極層、側壁絶縁層、酸化物半導体層、および第1絶縁層上に第2導電層を成膜し、第2導電層上に第3導電層を成膜し、加熱処理を行うことにより、酸化物半導体層中に低抵抗領域を形成し、第2導電層が有する元素は、加熱処理によって第2導電層から酸化物半導体層側に移動し、酸化物半導体層が有する元素は、加熱処理によって酸化物半導体層から第3導電層側に移動する構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に第1絶縁層を成膜し、前記第1絶縁層上に、第1酸化物絶縁層、および第1酸化物半導体層を順に成膜し、前記第1酸化物絶縁層、および前記第1酸化物半導体層を、第1マスクを用いて島状にエッチングすることにより第2酸化物絶縁層、および第2酸化物半導体層を形成し、前記第2酸化物半導体層、および前記第1絶縁層上に第3酸化物絶縁層を成膜し、前記第3酸化物絶縁層上に第2絶縁層を成膜し、前記第2絶縁層上に第1導電層を成膜し、前記第1導電層、および前記第2絶縁層に対して、第2マスクを用いて選択的にエッチングすることにより、ゲート電極層およびゲート絶縁層を形成し、前記ゲート電極層、前記第2酸化物半導体層、および前記第1絶縁層上に第3絶縁層を成膜し、前記第3絶縁層に対してドライエッチングを行うことにより前記ゲート電極層の側面と接する領域を有する側壁絶縁層を形成し、前記ゲート電極層、前記側壁絶縁層、前記第2酸化物半導体層、および前記第1絶縁層上に第2導電層を成膜し、前記第2導電層上に、第3導電層を成膜し、加熱処理を行うことにより、前記第2酸化物半導体層中に低抵抗領域を形成し、前記第2導電層が有する元素は、前記加熱処理によって前記第2導電層から前記第2酸化物半導体層側に移動し、前記第2酸化物半導体層が有する元素は、前記加熱処理によって前記第2酸化物半導体層から前記第3導電層側に移動すること、を特徴とする半導体装置の作製方法。

IPC (14件)：

H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/824 , H01L 27/108 , H01L 27/10 , H01L 21/823 , H01L 27/088 , H01L 27/092 , H01L 27/146 , H01L 21/365 , H01L 21/363 , H01L 21/316 , H01L 51/50 , H05B 33/14

FI (17件)：

H01L29/78 616L , H01L29/78 618B , H01L29/78 617J , H01L29/78 627A , H01L29/78 616V , H01L29/78 627F , H01L27/10 321 , H01L27/10 461 , H01L27/08 102E , H01L27/08 321G , H01L27/14 A , H01L27/14 E , H01L21/365 , H01L21/363 , H01L21/316 X , H05B33/14 A , H05B33/14 Z

Fターム (214件)：

3K107AA01 , 3K107AA05 , 3K107CC14 , 3K107CC21 , 3K107CC35 , 3K107CC45 , 3K107EE04 , 3K107EE63 , 3K107EE65 , 3K107FF04 , 3K107GG12 , 3K107GG26 , 3K107GG28 , 4M118AB01 , 4M118BA07 , 4M118BA14 , 4M118CA02 , 4M118CA05 , 4M118CB05 , 4M118CB06 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118FA06 , 4M118FA07 , 4M118FA28 , 4M118FA33 , 4M118FB13 , 4M118GA02 , 4M118GA04 , 4M118GC07 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5F045AA04 , 5F045AA15 , 5F045AB40 , 5F045AC00 , 5F045AC08 , 5F048AB01 , 5F048AB03 , 5F048AB04 , 5F048AC01 , 5F048AC04 , 5F048AC10 , 5F048BA01 , 5F048BA14 , 5F048BA16 , 5F048BA19 , 5F048BA20 , 5F048BB02 , 5F048BB03 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB14 , 5F048BB16 , 5F048BC18 , 5F048BD06 , 5F048BD10 , 5F048BF07 , 5F048BF11 , 5F048BF15 , 5F048BF16 , 5F048BG06 , 5F048BG11 , 5F048CB01 , 5F048CB03 , 5F048CB04 , 5F048CB08 , 5F058BC02 , 5F058BC03 , 5F058BF06 , 5F058BF27 , 5F058BF29 , 5F058BF37 , 5F058BJ01 , 5F083AD02 , 5F083AD03 , 5F083AD49 , 5F083AD53 , 5F083AD69 , 5F083GA01 , 5F083GA06 , 5F083GA10 , 5F083GA11 , 5F083GA21 , 5F083GA27 , 5F083HA02 , 5F083HA10 , 5F083JA02 , 5F083JA03 , 5F083JA04 , 5F083JA05 , 5F083JA06 , 5F083JA12 , 5F083JA19 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA39 , 5F083JA56 , 5F083JA57 , 5F083JA60 , 5F083LA00 , 5F083LA11 , 5F083LA25 , 5F083MA06 , 5F083MA15 , 5F083MA16 , 5F083PR01 , 5F083PR03 , 5F083PR06 , 5F083PR07 , 5F083PR21 , 5F083PR22 , 5F083PR33 , 5F083PR34 , 5F083PR36 , 5F083PR40 , 5F083ZA12 , 5F083ZA13 , 5F083ZA14 , 5F083ZA15 , 5F083ZA23 , 5F083ZA25 , 5F103AA08 , 5F103BB22 , 5F103DD30 , 5F110AA02 , 5F110BB01 , 5F110BB04 , 5F110BB05 , 5F110BB10 , 5F110BB11 , 5F110CC02 , 5F110CC10 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD08 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110DD25 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE14 , 5F110EE22 , 5F110EE30 , 5F110EE32 , 5F110EE42 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110EE48 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG07 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG16 , 5F110GG17 , 5F110GG19 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG35 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG58 , 5F110HJ01 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ22 , 5F110HJ30 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK33 , 5F110HK42 , 5F110HL27 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN40 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110NN74 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19

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