特許
J-GLOBAL ID:201703016625570370

ミラー装置及び当該ミラー装置を有する光源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-037472
公開番号(公開出願番号):特開2017-156422
出願日: 2016年02月29日
公開日(公表日): 2017年09月07日
要約:
【課題】複数の反射ミラーを有するミラー装置、及びミラー装置を有する光源装置において、各反射ミラーによる反射光の進行方向にバラつきが生じることを抑制する。【解決手段】ミラー装置13は、複数の反射ミラー15と、複数の反射ミラー15が載置されるミラー支持体17と、複数の反射ミラー15のそれぞれとミラー支持体17とを固定する複数の固定部材19と、を有する。ミラー支持体17は、所定の方向に相互に離間して配置された複数のミラー載置部と、所定の方向に隣り合う2つのミラー載置部を連結する複数の連結部とを含む。反射ミラー15は、ミラー載置部の上面に載置される。ミラー載置部は、反射ミラー15の反射面15Aに直交する方向に関し、連結部の厚みよりも薄い厚みを有する端部を含む。固定部材19は、ミラー載置部の端部と、反射ミラー15のうち、ミラー載置部の端部に載置された領域との双方を挟む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
複数の反射ミラーと、 複数の前記反射ミラーが載置されるミラー支持体と、 複数の前記反射ミラーのそれぞれと前記ミラー支持体とを固定する複数の固定部材と、を有し、 前記ミラー支持体は、 所定の方向に相互に離間して配置された複数のミラー載置部と、前記所定の方向に隣り合う2つの前記ミラー載置部を連結する複数の連結部とを含み、 前記反射ミラーは、前記ミラー載置部の上面に載置され、 前記ミラー載置部は、前記ミラー支持体を前記反射ミラーの前記反射面に直交する方向からみたとき、前記反射ミラーが離間する方向と直交する方向における両端のうちの少なくとも一方の端部において、前記反射ミラーの反射面に直交する方向に関し、前記連結部の厚みよりも薄い厚みを有し、 前記固定部材は、前記ミラー載置部の前記端部と、前記反射ミラーのうち、前記ミラー載置部の前記端部に載置された領域との双方を挟むことを特徴とするミラー装置。
IPC (3件):
G02B 7/198 ,  F21V 17/00 ,  F21V 13/04
FI (3件):
G02B7/198 100 ,  F21V17/00 250 ,  F21V13/04 100
Fターム (6件):
2H043BC08 ,  2H043CA04 ,  2H043CA09 ,  3K011HA02 ,  3K011JA01 ,  3K011KA04

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