酸化発色性エレクトロクロミック薄膜の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：天野一規 , 池田義典 , 小川博生 , 石田耕治 , 各務幸樹 , 藤中賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-038391
公開番号（公開出願番号）：特開2017-155272
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：

【課題】電気化学的特性に優れる酸化発色性エレクトロクロミック薄膜をコスト的に有利に製造できる方法の提供。【解決手段】エレクトロクロミック薄膜の材料となる金属又は金属化合物をターゲットとし、希ガス及び水蒸気の混合ガス雰囲気で行うDCスパッタリング工程を備え、混合ガスに対する水蒸気の組成比は、0.4〜0.7が好ましく、0.45〜0.6がより好ましいか、又は、混合ガスに対する水蒸気の組成比は、0.7超1未満であってもよく、0.9〜0.99がより好ましい酸化発色性エレクトロクロミック薄膜の製造方法。希ガスとしてはアルゴンガスが好ましく、ターゲットの金属又は金属化合物を構成する金属元素としては、Ni、Ir、Rh、Cr、Fe又はInから選択される少なくとも1種が好ましい製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化発色性エレクトロクロミック薄膜の製造方法であって、上記エレクトロクロミック薄膜の材料となる金属又は金属化合物をターゲットとし、希ガス及び水蒸気の混合ガス雰囲気で行うDCスパッタリング工程を備えることを特徴とする酸化発色性エレクトロクロミック薄膜の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/06 , C23C 14/34 , G02F 1/15 , C09K 9/00

FI (4件)：

C23C14/06 G , C23C14/34 M , G02F1/15 505 , C09K9/00 B

Fターム (14件)：

2K101AA22 , 2K101DA01 , 2K101DC53 , 2K101EH02 , 2K101EJ32 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA41 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029BC08 , 4K029CA06 , 4K029DC34 , 4K029EA05

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