特許

J-GLOBAL ID：201703016829075190

多層配線基板

発明者： 大見 忠弘
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012008436
公開番号（公開出願番号）：WO2014-102881
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

本発明の課題は、高効率で生産管理出来且つコストセーブできる高耐久性の電気絶縁膜を簡便に提供することである。本発明は、マグネシウム、ジルコニウム及びセリウムが添加されているアルミニウム合金の陽極酸化膜で電気絶縁膜を構成する。

請求項（抜粋）：

電気的絶縁膜を備えた半導体装置に於いて、前記絶縁膜がマグネシウム、ジルコニウム及びセリウムが添加されているアルミニウム合金の陽極酸化膜であることを特徴とする半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/283 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/532 ,  H01L 29/786 ,  H01L 49/00

FI (5件)：

H01L21/316 C ,  H01L21/283 B ,  H01L21/90 K ,  H01L29/78 617T ,  H01L49/00

Fターム (64件)：

4M104AA01 ,  4M104AA03 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD89 ,  4M104EE03 ,  4M104EE16 ,  4M104FF13 ,  4M104GG01 ,  4M104GG09 ,  5F033RR03 ,  5F033SS26 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BE10 ,  5F058BF70 ,  5F058BH03 ,  5F058BH04 ,  5F058BJ01 ,  5F058BJ02 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110FF01 ,  5F110FF24 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG05 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG35 ,  5F110GG43 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK17 ,  5F110HK21