チャンバコーティング

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-548714
公開番号（公開出願番号）：特表2017-512375
出願日： 2015年01月21日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
要約：

一実施形態では、処理チャンバの少なくとも1つの表面がSivYwMgxAlyOzを含むコーティングを有する、処理チャンバが開示され、SivYwMgxAlyOzにおいて、vは約0.0196から0.2951までの範囲にわたり、wは約0.0131から0.1569までの範囲にわたり、xは約0.0164から0.0784までの範囲にわたり、yは約0.0197から0.1569までの範囲にわたり、zは約0.5882から0.6557までの範囲にわたり、v+w+x+y+z=1である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理チャンバの少なくとも1つの表面がSivYwMgxAlyOzを含むコーティングを有し、SivYwMgxAlyOzにおいて、 vは約0.0196から0.2951までの範囲にわたり、 wは約0.0131から0.1569までの範囲にわたり、 xは約0.0164から0.0784までの範囲にわたり、 yは約0.0197から0.1569までの範囲にわたり、 zは約0.5882から0.6557までの範囲にわたり、 v+w+x+y+z=1である、処理チャンバ。

IPC (9件)：

H01L 21/306 , C23C 4/11 , H01L 21/205 , H01L 21/203 , C23C 16/44 , C03C 8/02 , C04B 41/87 , C23C 4/134 , C03C 3/095

FI (9件)：

H01L21/302 101G , C23C4/11 , H01L21/205 , H01L21/203 Z , C23C16/44 B , C03C8/02 , C04B41/87 K , C23C4/134 , C03C3/095

Fターム (85件)：

4G062AA08 , 4G062AA11 , 4G062BB06 , 4G062CC08 , 4G062CC10 , 4G062DA04 , 4G062DA05 , 4G062DA06 , 4G062DA07 , 4G062DB03 , 4G062DB04 , 4G062DB05 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED03 , 4G062ED04 , 4G062ED05 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ03 , 4G062FJ04 , 4G062FJ05 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4K030FA01 , 4K030KA08 , 4K031AA04 , 4K031AB02 , 4K031CB02 , 4K031CB07 , 4K031CB48 , 4K031DA04 , 5F004BB29 , 5F004BC03 , 5F004BD04 , 5F004BD05 , 5F045AA08 , 5F045AA14 , 5F045EB11 , 5F045EC05 , 5F045EC08 , 5F045EF05 , 5F045EH18 , 5F103BB03 , 5F103PP20

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