特許
J-GLOBAL ID：201703016939803647
ガスレーザ装置、パルスレーザビーム出力方法及びレーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
来山 幹雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-162581
公開番号（公開出願番号）：特開2015-032746
特許番号：特許第6184798号
出願日： 2013年08月05日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 無声放電励起方式のガスレーザと、
前記ガスレーザに励起用の高周波電圧を印加する電源と、
前記ガスレーザに流れる電流を測定する電流センサと、
前記電源から前記ガスレーザへの高周波電圧の印加を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記ガスレーザに、レーザ発振が生じない短い期間だけ、高周波電圧の先行パルスを印加すると共に、前記先行パルスが印加されている期間に、前記電流センサで測定された電流測定値を取得し、
取得された電流測定値が許容範囲内に収まっているか否かを判定し、
取得された電流測定値が前記許容範囲内に収まっている場合には、前記先行パルスの立ち下がり時点から、前記ガスレーザの上位レーザ準位の寿命が経過する前に、前記ガスレーザに高周波電圧の主パルスを印加してレーザ発振を生じさせ、
取得された電流測定値が前記許容範囲の下限値未満の場合には、前記先行パルスの立ち下がり時点から、前記ガスレーザの上位レーザ準位の寿命が経過するまでの時間、前記ガスレーザに高周波電圧を印加しないガスレーザ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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