特許
J-GLOBAL ID:201703017035943739
有機電子デバイスの製造方法および有機ELデバイスの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-531508
特許番号:特許第6159977号
出願日: 2013年08月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板上に第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記基板上に、第1開口部を規定する第1隔壁を、前記第1開口部の底に前記第1電極の少なくとも一部が露出するように形成する第1隔壁形成工程と、
前記第1開口部内に第1有機材料を含む第1インク液滴を滴下して、第1有機機能膜を成膜する第1有機機能膜成膜工程と、
前記第1有機機能膜成膜工程を実行した後、前記第1隔壁上に、前記第1開口部に連通する第2開口部を規定する第2隔壁を形成する第2隔壁形成工程と、
前記第2開口部の開口から、前記第1有機材料とは異なる第2有機材料を含む第2インク液滴を滴下して、露出している前記第1有機機能膜の表面を被覆するように、第2有機機能膜を成膜する第2有機機能膜成膜工程と、
前記第2有機機能膜上に第2電極を形成する第2電極形成工程と、
を備え、
前記第2隔壁形成工程では、平面視において、前記第2隔壁における前記第2開口部を臨む側壁の底部端縁が、前記第1隔壁における前記第1開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも後退した位置になるように、前記第2隔壁を形成し、
前記第2有機機能膜成膜工程では、前記第2開口部内における前記第2有機機能膜の上端縁が、前記第2隔壁における前記第2開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも上方となるように、前記第2インク液滴を滴下する
ことを特徴とする有機電子デバイスの製造方法。
IPC (4件):
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H05B 33/12 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/22 ( 200 6.01)
FI (4件):
H05B 33/10
, H05B 33/12 B
, H05B 33/14 A
, H05B 33/22 Z
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