特許
J-GLOBAL ID：201703017124790911

位置決め測定システム

発明者：
高久 正和

高久 正和 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 金山 義信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-028923
公開番号（公開出願番号）：特開2017-146231
出願日： 2016年02月18日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：
【課題】ワークの高速移動に十分対応し、演算処理が極めてシンプルで信頼性の高い位置決め測定システムを得る。【解決手段】基準面の位置が目的の位置に到達したかどうかを検出する位置決め測定システムにおいて、基準面と接触するスタイラス12と位置を数値データとして検出する変位式センサ1とを有したタッチプローブと、タッチプローブを用いて過去の位置情報としてN点の数値データをサンプリングして検出し、数値データより最小自乗法による直線近似により次のサンプリングタイミングの位置を予測値として演算処理して求める直線近似計算回路5-1と、直線近似計算回路5-1により求められた予測値が目的の位置に到達したかどうかの情報を出力する比較回路5-2と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ワークの基準面の位置を測定し、前記基準面の位置が目的の位置に到達したかどうかを検出する位置決め測定システムにおいて、 前記基準面と接触するスタイラスと前記位置を数値データとして検出する変位式センサとを有したタッチプローブと、 前記タッチプローブを用いて過去の位置情報としてN点の前記数値データをサンプリングして検出し、前記数値データより最小自乗法による直線近似により次のサンプリングタイミングの位置を予測値として演算処理して求める直線近似計算回路と、 前記直線近似計算回路により求められた予測値が前記目的の位置に到達したかどうかの情報を出力する比較回路と、 を備えたことを特徴とする位置決め測定システム。
IPC (1件)：
G01B 5/00
FI (1件)：
G01B5/00 A
Fターム (14件)：
2F062AA01 ,  2F062AA04 ,  2F062AA21 ,  2F062CC08 ,  2F062CC26 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF02 ,  2F062FF12 ,  2F062GG65 ,  2F062HH01 ,  2F062JJ04 ,  2F062JJ05 ,  2F062JJ09
引用特許：
出願人引用 (3件)

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