下向き印刷装置および方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：山本秀策 , 森下夏樹 , 飯田貴敏 , 石川大輔 , 山本健策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-181257
公開番号（公開出願番号）：特開2017-006919
出願日： 2016年09月16日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
要約：

【課題】好適な膜形成装置、システム、および方法を提供すること。【解決手段】膜形成装置、システム、および方法が提供される。本装置は、基材設置システムと、インクジェット印刷アレイおよび/または感熱印刷アレイを含む、印刷アレイとを含むことができる。設置システムは、ガスベアリング板システムであり得る。設置システムは、印刷アレイから離れた第1の位置と、印刷アレイより上方の第2の位置との間で基材を移動させるように構成されていることができる。本装置、システム、および方法は、有機発光デバイス(OLED)、例えば、フラットパネルディスプレイを製造するために使用することができる。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

膜形成装置であって、該膜形成装置は、基材を支持するように構成されるガスベアリングシステムであって、該ガスベアリングシステムは、該ガスベアリングシステムの頂面の中に形成される第1の複数のガス孔および第2の複数の真空孔を備える、ガスベアリングシステムと、該ガスベアリングシステムの該頂面の中に定置される印刷アレイであって、該印刷アレイは、該ガスベアリングシステムの該頂面の中に形成される該第1の複数のガス孔および該第2の複数の真空孔の間に定置され、該印刷アレイは、上向きで該基材に面する、印刷アレイと、該基材を運搬するように構成される基材設置システムであって、該基材設置システムは、リニアアクチュエータシステムに載置される基材ホルダを備える、基材設置システムとを備える、膜形成装置。

IPC (4件)：

B05C 13/02 , H01L 51/50 , H05B 33/10 , B05C 5/00

FI (4件)：

B05C13/02 , H05B33/14 A , H05B33/10 , B05C5/00 101

Fターム (41件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107FF14 , 3K107FF16 , 3K107GG07 , 3K107GG08 , 3K107GG09 , 3K107GG28 , 3K107GG35 , 3K107GG42 , 4D075AC06 , 4D075AC73 , 4D075AC78 , 4D075AC82 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075BB56X , 4D075BB56Y , 4D075BB56Z , 4D075CB08 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC19 , 4D075DC24 , 4D075DC27 , 4D075EA33 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA01 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA21 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042BA08 , 4F042DF10 , 4F042DF16 , 4F042DF28 , 4F042DF34 , 4F042ED05

前のページに戻る