特許
J-GLOBAL ID：201703017413216409
シリカガラスルツボの評価方法、シリコン単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野村 一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-108431
公開番号（公開出願番号）：特開2016-153372
特許番号：特許第6123000号
出願日： 2016年05月31日
公開日（公表日）： 2016年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、
移動経路上の複数の測定点において、内部測距部から前記シリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、前記レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように前記内部測距部と前記内表面との距離や前記レーザー光の出射方向を変化させて、前記2つのピークのうちの前記内表面側のピークの位置によって前記内部測距部と前記内表面との間の内表面距離を測定し、
各測定点の三次元座標と、前記内表面距離を関連付けることによって、前記シリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、
この三次元形状上の複数の測定点においてラマンスペクトルを測定することによって、前記ラマンスペクトルの三次元分布を決定し、
前記ラマンスペクトルが規定の範囲内に入っているか否かによって前記シリカガラスルツボの品質を検査する工程を備えるシリカガラスルツボの評価方法。
IPC (3件)：
C30B 29/06 ( 200 6.01)
, C30B 15/10 ( 200 6.01)
, G01N 21/65 ( 200 6.01)
C30B 29/06 502 B
, C30B 15/10
, G01N 21/65
