特許
J-GLOBAL ID：201703017436748696
高周波電源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
菊池 新一
, 菊池 徹
, 松本 英俊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-136089
公開番号（公開出願番号）：特開2015-012686
特許番号：特許第6153786号
出願日： 2013年06月28日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 出力レベルのPWM制御が可能なDC-DC変換部と、前記DC-DC変換部の出力を高周波出力に変換するDC-RF変換部と、前記DC-RF変換部から設定された波形を有する変調波で変調された高周波電力を出力させる際に変調された高周波電力が各瞬時にとるべきレベルの設定値を設定する高周波出力設定部と、前記DC-RF変換部から出力された高周波電力の各瞬時のレベルを検出する高周波出力検出部と、前記高周波出力設定部で設定された高周波電力の各瞬時のレベルの設定値と前記高周波出力検出部で検出された高周波電力の各瞬時のレベルの検出値との偏差の情報を含む制御指令信号をキャリア信号と比較することにより得たPWM制御信号を前記DC-DC変換部に与えて、各瞬時のレベルが前記高周波出力設定部で設定された各瞬時のレベルに等しい変調された高周波電力を前記DC-RF変換部から出力させるべく前記DC-DC変換部の出力を制御する高周波電力制御部とを備えた高周波電源装置であって、
前記キャリア信号の周波数は、前記変調波の周波数の整数倍に設定されていることを特徴とする高周波電源装置。
IPC (2件)：
H02M 7/48 ( 200 7.01)
, H02M 3/28 ( 200 6.01)
H02M 7/48 E
, H02M 3/28 P
