特許
J-GLOBAL ID：201703017610818615
気密検査装置、および、気密検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-068228
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181277
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：
【課題】 検査にかかる時間を短縮するとともに部材の気密性を高精度に検査可能な部材の気密検査装置を提供する。【解決手段】 リークテスタ1は、圧力が所定のテスト圧の加圧用気体をラジエータ90の内部空間に供給可能な空気供給部10、圧力が所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体を貯留可能に形成されテスト用気体をラジエータ90の内部空間に供給可能な気体貯留部22、気体貯留部22とラジエータ90との間に設けられテスト用気体が流通可能な第一連通管24、ラジエータ90の内部空間の圧力変化を検出可能な漏れ検出部20、ラジエータ90の内部空間の気体をラジエータ90の外部に排出可能な第二連通管26、および、制御部28を備える。制御部28は、ラジエータ90の内部空間に供給された加圧用気体をテスト用気体に替えたあと漏れ検出部20によって内部空間の圧力変化を検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワーク(90)の内部空間に所定のテスト圧の気体を封入し前記ワークの気密性を検査する気密検査装置(1、2、3、4、5、6、7)であって、
圧力が前記所定のテスト圧の加圧用気体を前記内部空間に供給可能な加圧用気体供給部(10、14)と、
前記加圧用気体供給部と前記ワークとの間に設けられ、前記加圧用気体供給部から前記ワークに向かって前記加圧用気体が流通可能な加圧用供給管(12)と、
前記加圧用供給管に設けられ、前記加圧用供給管における気体の流通を許容または遮断する加圧用バルブ(16)と、
圧力が前記所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体を貯留可能に形成され、前記テスト用気体を前記内部空間に供給可能なテスト用気体供給部(22、32、60)と、
前記テスト用気体供給部と前記ワークとの間に設けられ、前記テスト用気体が流通可能なテスト用供給管(24)と、
前記テスト用供給管に設けられ、前記テスト用供給管における気体の流通を許容または遮断するテスト用バルブ(25)と、
前記内部空間の圧力変化を検出可能な漏れ検出部(20、40)と、
前記漏れ検出部と前記ワークとの間に設けられ、前記内部空間の気体が流通可能な検出用連通管(12)と、
前記検出用連通管に設けられ、前記検出用連通管における気体の流通を許容または遮断する検出用バルブ(16)と、
前記内部空間の気体を前記ワークの外部に排出可能な排出管(26)と、
前記排出管に設けられ、前記排出管における気体の流通を許容または遮断する排出用バルブ(27)と、
前記加圧用バルブ、前記テスト用バルブ、前記漏れ検出部、前記検出用バルブ、および、前記排出用バルブと電気的に接続し、前記内部空間に供給された前記加圧用気体を前記テスト用気体に替えたあと前記漏れ検出部によって前記内部空間の圧力変化を検出するよう前記加圧用バルブ、前記テスト用バルブ、前記漏れ検出部、前記検出用バルブ、および、前記排出用バルブの作動を制御する制御部(28)と、
を備える気密検査装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2G067AA21
, 2G067AA28
, 2G067AA34
, 2G067BB02
, 2G067BB04
, 2G067BB25
, 2G067BB40
, 2G067DD03
, 2G067DD04
, 2G067EE09
