特許
J-GLOBAL ID：201703017663908322
液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-058559
公開番号（公開出願番号）：特開2014-180864
特許番号：特許第6057071号
出願日： 2013年03月21日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、
該流路形成基板に設けられた圧電アクチュエーターと、
前記流路形成基板の前記圧電アクチュエーター側に接合された保護基板と、を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記圧電アクチュエーターが形成された前記流路形成基板と前記保護基板とを接合して接合体を形成する工程と、
前記接合体の前記保護基板の前記流路形成基板とは反対面側に封止部材を接合すると共に、前記封止部材と前記保護基板との間の空間にニトロ化合物を含む保護材を配置する工程と、
前記封止部材が接合された前記接合体の前記流路形成基板をウェットエッチングすることにより前記圧力発生室を形成する工程と、
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (5件)：
B41J 2/16 201
, B41J 2/16 301
, B41J 2/16 503
, B41J 2/16 507
, B41J 2/16 517
